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2017年度（第13回）精密工学会賞受賞業績の紹介

机译：2017年第13届日本精密工程学会奖成就介绍

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佐藤一雄氏は，シリコン単結晶を主材料とする微小機械電気システム（MEMS)において，新規な機械システムを提案，実証するとともに，シリコン単結晶の物理化学とそのメカニズムを解明してマイクロナノ機械理工学の発展に貢献している.
机译：佐藤一雄提出并演示了一种以硅单晶为主要材料的微机械系统（MEMS）的新机械系统，并阐明了硅单晶的物理化学及其研究微纳米机械工程的机理。为学术发展做出贡献。

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  • 来源
    《精密工学会誌》 |2017年第12期|QT1-QT2|共2页
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