X線リソグラフィを利用した高効率高精度微細ふるいの研究

絹田　精鎮; 小林　将士; 保坂　純男

首页> 外文期刊>精密工学会誌 >X線リソグラフィを利用した高効率高精度微細ふるいの研究

【24h】

X線リソグラフィを利用した高効率高精度微細ふるいの研究

机译：利用X射线光刻技术进行高效高精度筛分的研究

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Possibility of high throughput and high accurate sieving has been studied using X-ray lithography and electroforming. Our idea is to design tapered apertures in mesh of the sieve using three dimensional machining of X-ray lithography. The tilt exposing was done in X-ray lithography for the tapered aperture. It is demonstrated to achieve high throughput sieving of 10.5 g/hr using the tapered apertures and high opening rate of 44 % in the proposed mesh, while only electroforming and both UV lithography and electroforming have sieving of 0 and 5.1 g/hr in opening rate of 9 and 25 %, respectively. Furthermore, it is demonstrated that a deviation of the aperture size fabricated by X-ray lithography and electroforming is very small compared with other methods of only electroforming and both UV lithography and electroforming.%現在，二次電池の電極や研磨剤，塗料，薬剤など様々な分野で微粉末が利用されている。微粉末に要求される性能は，それらの粒度（粒径）を揃えることであり，必要不可欠な要素となっている。また，技術動向としては，微粉末の粒径が微小になりつつあり，微小な粉末を高精度で分級することが求められている。

机译：已经使用X射线光刻和电铸技术研究了高通量和高精度筛分的可能性。我们的想法是使用X射线光刻的三维机加工设计筛孔中的锥形孔。倾斜曝光是在X射线光刻中对锥形孔进行的。事实证明，使用锥形孔可实现10.5 g / hr的高通量筛分，在建议的筛网中可实现44％的高开孔率，而仅电铸以及UV光刻和电铸的开孔率分别为0和5.1 g / hr分别为9％和25％。此外，与仅电铸以及UV光刻和电铸的其他方法相比，X射线光刻和电铸所制造的孔径尺寸的偏差很小。％现在，二次电池の电极や研磨剤，涂料微粉薬剤など様々な要求される性能は，それらの粒度（体积）を揃えることであり，必要不可欠な要素となっている。また，技术动向としては，微粉末の预定が微小になりつつあり，微小な粉末を高级で分级することが求められている。

著录项

来源
《精密工学会誌》 |2012年第1期|p.77-80|共4页
作者
絹田　精鎮; 小林　将士; 保坂　純男;
展开▼
作者单位

（株）オプトニクス精密（栃木県足利市富士見町26）;

（株）オプトニクス精密（栃木県足利市富士見町26）;

群馬大学大学院（群馬県桐生市天神町1-5-1）;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. 原著論文編論文要旨水環境におけるふん便指標細菌である大腸菌は，環境中で再増殖することが知られており，指標細菌としての妥当性が懸念されている。そこで本研究では，下水処理水が流入する小河川において，下水処理水の流入•混合後の流下過程における大腸菌数の変化について調査した。大腸菌のフラックスは，上流地点と下水処理水の合計量よりも.その下流地点において増大する傾向を示した。また，下流地点の底質で高密度の大腸菌数が検出された。そこで，パルスフィールド-ゲル電気泳動法によって大腸菌の遺伝子型の類似性を評価したところ，上流の河川水，河床付着物，ならびに底質から単離した大腸菌において遺伝子型の一致する株が確認された。以上のことから，下水処理水の影響を強く受ける小河川では，大腸菌が河床の付着物や底質に生残•蓄積しており，再増殖する可能性も否定できないことが示唆された。河川における大腸菌数によるふん便汚染評価の解釈には，留意する必要がある。 [J] . 水環境学会誌 . 2018,第3期

机译：原始论文摘要大肠杆菌是水生环境中的粪便指示细菌，已知会在环境中重新生长，因此它作为指示细菌的有效性受到关注。因此，在这项研究中，我们调查了污水处理水流入的一条小河中污水处理水的流入和混合后，在排水过程中大肠杆菌数量的变化。大肠杆菌的通量显示出在下游点而不是上游点和污水处理水总量的增加趋势。另外，在底部沉积物中检测到高密度的大肠杆菌。因此，通过脉冲场凝胶电泳法对大肠杆菌的基因型相似性进行了评估，结果在上游河水，河床沉积物和从沉积物中分离出来的大肠杆菌中确认了具有相同基因型的菌株。它是由上可知，在受到污水处理严重影响的小河中，大肠杆菌在河床的沉积物和沉积物中存活并积累，不能否认有再生的可能性。根据河流中的大肠杆菌数量，在解释粪便污染评估时应格外小心。
2. NTTら業界団体を設立光通信技術を研究日本電信電話(株)(NTT、東京都千代田区)、米インテル、ソ二ー(株)(東京都港区)の3社は、新たな業界団体を設立する。光電融合技術を活用したフォトニクス関連技術の研究開発などを推進し、超大容量通信に対応できる光ネットヮーク技術の確立などを目指してハる。3-3プロセッシング領域狙う国内DRAM大手のェルピーダメモリを買収し、大きく飛躍を遂げた米マイクロンテクノロジー。2017年にはサンディスク共同創業者の1人である、Sanjay Mehrotra (サンジエイ·メイロトラ)氏を招聘。経営体制も刷新され、大きく生まれ変わった「新生マイクロン」を全面に押し出した。米サンフランシスコで開催されたプライベートイベント「MlicronInsight 2019」(現地10月24日開催)では、同社のあるべき将来像に対するメッセージが随所に散りばめられていた。 [J] . 半導体産業新聞 . 2019,第2372期

机译：成立了NTT和其他工业集团研究光通信技术的日本电报电话公司（NTT，东京千代田区），英特尔，索尼公司（东京都港区）是三个新的工业集团。建立。促进利用光电子融合技术的光子相关技术的研究和开发，并致力于建立可支持超高容量通信的光网络技术。 3-3处理领域美国Micron Technology在收购了国内主要DRAM公司Elpida Memory之后取得了巨大飞跃。 2017年，我们邀请了Sanjay联合创始人Sanjay Mehrotra。管理系统也进行了改进，我们推出了完全脱胎换骨的“新Micron”。在旧金山举行的私人活动“ Mlicron Insight 2019”（10月24日举行）上，有关公司未来愿景的信息四处散布。
3. 耐滑性のない安全靴シモン（東京都中央区，☎03-5695-1011)は，耐滑性と安定歩行を兼ね備えた安全靴，シモンライトシリーズ「SL28」を開発，販売を開始した。調整域の広い靴紐と，かかとを包み込み，足裏の負担を軽減する中敷きで，作業現場における軽やかなフットワークを可能にする。靴底には，複数パーツの「SX 3層底Fソールシステム（2016年グッドデザィン賞受賞）」を採用しているため，長期保存に強く加水分解しない。地面への接地面積も大きく安定感に優れ，耐滑効果が長く持続する。139-139第23期•東西ァス防水技能員養成所を卒業して目指すべき将来像が見えた学び舎 [J] . 平野　颯真防水ジャ—ナル . 2019,第6期

机译：Simon，防滑安全鞋（东京都中央区，☎03-5695-1011），已开发并开始销售具有防滑和稳定行走功能的安全鞋Simon Light系列“ SL28”。鞋带可调节的范围很广，鞋垫可以包裹脚后跟，减少脚底的压力，使工作场所的脚步轻松。鞋底使用多部分SX 3层鞋底F鞋底系统（2016年最佳设计奖得主），因此长时间水解不会强烈水解。与地面的地面接触面积大，稳定感极佳，并且防滑效果可长时间持续。 139-139第23学期•一栋教学楼，从东西方运动员技术培训学院毕业后，您可以看到将来的目标
4. トライボナノリソグラフィー（TNL）と化学エッチングを併用した極微細構造形成（第2 報）－高アスペクト比の微細構造形成 [C] . 深瀬達也, 森田昇, 川堰宣隆, 精密工学会学術講演会 . 2008

机译：用TribonanyshoLyshoght（TNL）和化学蚀刻的微观结构形成（第2次报告） - 高纵横比形成
5. 色素増感太陽電池用スクアリリウム色素の分子軌道計算による可視光、遠赤、近赤外領域用色素の分子設計とそれらを利用した色素増感太陽電池の高効率化に関する研究 [D] . 山口能弘 2019

机译：通过可见光，远红外和近红外区域的分子轨道计算研究染料敏化太阳能电池方酸染料的分子设计并提高染料敏化太阳能电池的效率
6. 9. フラストレーションがある系でのスピン相関関数とスピングラスの非線形帯磁率(基研短期研究会「スピングラスを中心とした新しい秩序相」報告,研究会報告) [O] . 宮下精二, 知久哲彦 1988

机译：9.受挫系统中自旋玻璃的自旋相关函数和非线性磁化率（RIKEN短期研讨会，研究会议“以自旋玻璃为中心的新有序相的报告”）

X線リソグラフィを利用した高効率高精度微細ふるいの研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅