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ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正

机译:使用音圈电机校正隔振台的倾斜度

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摘要

精密位置決めや精密計測の分野では,アクティブ除振装置がrn汎用的に使用されている.特に,半導体露光装置における高精rn度な除振性能を要求するシステムでは必須のユニットになってrnいる.床振動の露光装置への伝達を抑制するという除振,およrnび同装置の内部で発生する外乱,特にステージなどの加減速時rnに発生する力による外乱振動から装置を守るという防振,これrnらの二つの機能を有することが求められている.
机译:在精密定位和精密测量领域,通常使用主动隔振装置。特别是在要求半导体曝光设备具有高精度隔振性能的系统中,它是必不可少的单元。抑制地板振动传递到曝光设备的抗振动,以及保护设备免受设备内部产生的干扰(尤其是由于在平台的加减速rn期间产生的力等引起的干扰振动)的抗振动。 ,需要具有这两个功能。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2009年第9期|1112-1116|共5页
  • 作者

    高橋正人; 涌井伸二;

  • 作者单位

    ニコン(埼玉県熊谷市大字御稜威ヶ原201-9);

    東京農工大学大学院(東京都小金井市中町2-24-16);

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  • 正文语种 jpn
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