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【24h】

ECRプラズマの光半導体プロセスへの応用

机译:ECR等离子体在光半导体工艺中的应用

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摘要

ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマは,磁 界中で回転する電子の周期に一致した振動電界を外部から 与えて,共鳴現象により発生させる高密度プラズマであ り,プラズマCVDやドライエッチング,さらには,反応 性を利用したプラズマ酸化など,様々に利用することがで きる.なかでも,固体ソース型のECRプラズマ成膜技術 は,エレクトロニクス分野において既に実用技術として確 立し,半導体レーザの反射膜を始めとして,各種デバイス の生産現場で広く利用されている.
机译:ECR(电子回旋共振)等离子体是一种高密度等离子体,它是通过在外部施加与磁场中旋转的电子的周期匹配的振荡电场而产生的共振现象而产生的。它可以以多种方式使用,例如使用反应性的等离子体氧化。其中,固体源型ECR等离子体成膜技术已经确立为电子领域的实用技术,并被广泛用于包括半导体激光器的反射膜在内的各种装置的生产现场。

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