公开/公告号CN106416430A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-15
原文格式PDF
申请/专利号CN201580017996.X
申请日2015-03-26
分类号H05H1/46(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人张瑞;郑霞
地址 法国昂德雷济约布泰翁
入库时间 2023-06-19 01:32:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-06
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46 申请日:20150326
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
机译: ECR方法和装置,用于在电子回旋共振ECR域中产生微波能量激发的等离子体,以进行表面处理或在丝状元件周围进行涂层
机译: 用于在电子回旋共振(ECR)域中产生被微波能量激发的等离子体的方法和装置,以进行表面处理或在丝状元件周围产生涂层
机译: 用于在电子回旋共振(ECR)域中产生由微波能量激发的等离子体的方法和装置,以进行表面处理或在丝状元件周围产生涂层。