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Four Probes are Better Than One

机译:四个探针胜于一个

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摘要

Scanning probe microscopy has become a well-accepted technology for testing and examining semiconductor or biomolecular nano-devices. A new instrument from Omicron Vakuumphysik GmbH, Taunusstein, Germany, advances the technology of this instrumentation another step by providing measurement and application of both voltage and current with up to four individual probe modules. The modules can be positioned with atomic-scale accuracy to allow multipoint measurement on nanometer-sized areas.
机译:扫描探针显微镜已成为测试和检查半导体或生物分子纳米器件的公认技术。来自德国陶努斯泰因的Omicron Vakuumphysik GmbH的新仪器通过提供多达四个单独的探头模块的电压和电流测量和应用,使该仪器的技术又迈进了一步。可以以原子级精度定位模块,以允许在纳米级区域上进行多点测量。

著录项

  • 来源
    《R & D》 |2000年第12期|p.43|共1页
  • 作者

    Tim Studt;

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 TB-045;
  • 关键词

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