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FPD生産でフォトマスク位相差を測定 レーザーテック装置を開発

机译:开发用于测量FPD生产中光掩模相差的激光掩模系统

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摘要

レーザーテックはこのほど、FPD生産用途で使用されるフォトマスクの位相差および透過率を高精度で測定できる装置写真=を発表した。MPM365ghはFPDの露光波長に使われているi線、g線、h線の位相差透過率を測定可能にした。量産ラインでの定期管理からプロセス開発の解析用途まで、幅広く使用できる。
机译:Lasertec最近发布了一张设备的照片,该设备可以高精度地测量FPD生产应用中使用的光掩模的相位差和透射率。 MPM365gh使测量FPD曝光波长中i线,g线和h线的相差透射率成为可能。从批量生产线中的常规管理到过程开发分析,它可以用于多种用途。

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    《电波新闻》 |2016年第16895期|2-2|共1页
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