Optimization Design of Silicon Micro-capacitive Accelerometer with PWN Technique

Wu Ying; Jiang Yong-qing; Wen Zhi-yu

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Optimization Design of Silicon Micro-capacitive Accelerometer with PWN Technique

机译：硅微电容加速度计的PWN技术优化设计

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The property of silicon micro-capacitive accelerometer is analyzed and discussed by establishing the model of the sensor, to lay a basis for optimization design of sensor system structure. Discussed issues include the static modeling and dynamic behavior of the two commonly used structures, i.e., double-cantilever supported and four-beam supported structures, and also the measurement range of these devices.

机译：通过建立传感器模型对硅微电容加速度计的性能进行了分析和讨论，为传感器系统结构的优化设计奠定了基础。讨论的问题包括两个常用结构（即双悬臂支撑和四梁支撑结构）的静态建模和动态行为，以及这些设备的测量范围。

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来源
《Semiconductor photonics and technology》 |1999年第4期|p.193-197|共5页
作者
Wu Ying; Jiang Yong-qing; Wen Zhi-yu;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类半导体技术;
关键词
Capacitive Accelerometer; PWM Modulation; Silicon Micromachine;

机译：电容式加速度计PWM调制硅微机械;

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