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半導体製造装置，FPD製造装置向けターボ分子ポンプ

机译：用于半导体制造设备和FPD制造设备的涡轮分子泵

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摘要

For turbo molecular pumps installed in semiconductor manufacturing and FPD manufacturing equipment,further improvements in pumping speed,prevention of deposited matter and reduction in equipment space are required.This paper introduces the TMP-X3405 and TMP-X4304 types with integrated power supplies and a high temperature control function,and the TMP-5305 type,a5000L/s class instrument that achieves high pumping speed.%半導体製造装置，FPD製造装置に搭載するターボ分子ポンプには，更なる排気速度向上，生成物付着防止，装置スペース低減のための小型化が要求されている。本稿では高温制御機能付き電源一体化TMP-X3405形，TMP-X4304形，また5000L/sクラスの大排気速度を実現したTMP-5305形について紹介する。
机译：对于安装在半导体制造和FPD制造设备中的涡轮分子泵，需要进一步提高抽速，防止沉积物并减少设备空间。本文介绍了TMP-X3405和TMP-X4304集成电源和高功率温度控制功能，以及达到高抽速的TMP-5305型a5000L / s级仪器。％安装在半导体制造设备和FPD制造设备中的涡轮分子泵进一步提高了抽速，防止了产品粘附，需要小型化以减小设备空间。本文介绍了具有高温控制功能的集成电源的TMP-X3405和TMP-X4304型，以及达到5000 L / s级的大抽速的TMP-5305型。

著录项

  • 来源
    《島津評論》 |2016年第4期|101-106|共6页
  • 作者

    小亀正人;

  • 作者单位

    産業機械事業部　TMPビジネスユニット;

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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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