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高速スパッタリング成膜装置を用いたアプリケ一ションの開発

机译：使用高速溅射成膜设备的应用开发

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摘要

高速スパッタリング成膜法では，従来のスパッタリング成膜装置と比較して，より短時間で反射率が良好，かつ，立体形状への回り込みも良好な金属薄膜成膜を実現することができる。この手法で成膜したアルミ膜は，樹脂成形時間から形成するまでの時間が短いほど反射率が高く，密着性が良くなり，樹脂成形機との連動において有用であることを見いだした。また，車載用ヘッドアップディスプレイ(HUD)用途として，増反射膜の検討を行い，550nmの波長において，95％の高い反射率を得ることができた。%We have developed a high-speed sputter deposition system that can form high refractivity metal film on curved surfaces such as resin molding with high coverage and in a short time compared to conventional sputter deposition systems.It was found that the aluminum film deposited by this method exhibits high adhesion to the resin material,and has a higher reflectance and better adhesion,since the time from resin molding to film deposition is shorten.In addition,we investigated an enhanced reflection film for use in in-vehicle head up displays(HUD)and found that a reflectance greater than 95% could be obtained at the 550nm wavelength.
机译：与传统的溅射成膜装置相比，高速溅射成膜方法可以在较短的时间内实现反射率良好并且对三维形状的环绕性也良好的金属薄膜成膜。我们发现，通过这种方法形成的铝膜具有更高的反射率和更好的粘合性，因为从树脂模制到形成的时间较短，并且与树脂模制机结合使用是有用的。此外，我们研究了用于汽车平视显示器（HUD）应用的反射增强膜，能够在550 nm的波长下获得95％的高反射率。 ％我们开发了一种高速溅射沉积系统，与传统的溅射沉积系统相比，它可以在曲面上形成高折射率的金属膜（例如树脂成型品），覆盖时间短，覆盖率高，并且可以在短时间内形成高折射率的金属膜。该方法对树脂材料显示出高粘附性，并具有更高的反射率和更好的粘附性，因为从树脂模塑到成膜的时间缩短了。此外，我们研究了用于车载平视显示器（HUD）的增强型反射膜），发现在550nm波长下可获得大于95％的反射率。

著录项

  • 来源
    《島津評論》 |2016年第4期|123-128|共6页
  • 作者

    大岸厚文; 吉岡尚規;

  • 作者单位

    産業機械事業部事業開発部;

    産業機械事業部事業開発部;

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