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Preparation and characterization of cubic boron nitride and carbon nitride films

机译：立方氮化硼和氮化碳膜的制备与表征

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Cubic boron nitride (c-BN) is a superhard material with a high potential for applications in different fields. Presently c-BN films are being prepared mainly by CVD or PVD techniques. These techniques as well as the different methods used to characterize the films will be discussed. Theoretical considerations have shown that a superhard carbon nitride phase β-C_3N_4 with mechanical properties equivalent to or even better than those of diamond can exist. Inrecent years there were many attempts to prepare carbon nitride coatings by PVD or CVD techniques. An essential problem is the incorporation of sufficiently high concentrations of nitrogen in the films. A clear evidence of crystalline β-C_3N_4 phases in C-N films is outstanding so far.
机译：立方氮化硼（c-BN）是一种超硬材料，在不同领域中都有很高的应用潜力。目前，主要通过CVD或PVD技术制备c-BN膜。将讨论这些技术以及用于表征薄膜的不同方法。理论上的考虑表明，可以存在具有与金刚石相同或什至更好的机械性能的超硬氮化碳相β-C_3N_4。最近几年，人们进行了许多尝试通过PVD或CVD技术制备氮化碳涂层的尝试。一个基本问题是在膜中掺入足够高浓度的氮。迄今为止，C-N薄膜中结晶的β-C_3N_4相的清晰证据是杰出的。

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