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Etude de microcathodes froides sur AsGa profilées en pointes ou lames pour applications hyperfréquences

机译：用于微波的点状或叶片状AsGa冷阴极的研究

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Les microcathodes à émission par effet de champ étudiées dans cet article présentent des profils en forme de pointes et de lames. Réalisés sur substrat d'arséniure de gallium dopé, ces dispositifs développent des courants atteignant 100 μA sous faible tension, que ce soit avec les structures à pointes ou avec lames. L'exploitation des caractéristiques Ⅰ(Ⅴ) de Fowler Nordheim par deux méthodes semble montrer une meilleure uniformité du champ émissif pour les cellules à lames, notamment après une période de mise en formation. Bien que théoriquement moins favorables d'un point de vue géométrie, ces résultats confortent les avantages potentiels attendus pour les structures à lames en vue de la modulation hyperfréquence du signal d'émission : une tension de commande faible, une densité de courant réduite, un bon comportement thermique.%The field emission cathodes investigated in this paper are based on tips or wedges structures. Fabricated on a highly doped GaAs substrate, these devices give maximum current values of 100 μA under low voltage, both for tips and wedges. Two methods are used to fit the Ⅰ-Ⅴ characteristics. The emission field uniformity seems to be improved in case of wedge structures, particularly after a « self-shaping » period of time. Although the geometry appears theoretically less favourable, the experimental results support the expected advantages of wedge structures for microwave modulation of the emission current: a low gate voltage, a reduced current density, a good thermal behavior.
机译：本文研究的场效应发射微阴极具有尖峰和叶片形式的轮廓。这些器件产生于掺杂的砷化镓衬底上，无论是采用点结构还是采用叶片，这些器件都会在低压下产生高达100μA的电流。用两种方法开发Fowler Nordheim的ow（Ⅴ）特性似乎显示出滑片细胞发射场的均匀性更好，特别是在形成一段时间之后。尽管从几何学的角度来看理论上不利，但这些结果证实了芦苇结构对发射信号进行微波调制的潜在优势：控制电压低，电流密度降低，良好的热行为。％本文研究的场发射阴极基于尖端或楔形结构。这些器件在高掺杂GaAs衬底上制造，在低电压下对尖端和楔形物提供的最大电流值为100μA。使用两种方法来拟合Ⅰ-Ⅴ特性。在楔形结构的情况下，尤其是在“自成形”时间段之后，似乎提高了发射场的均匀性。尽管从理论上讲几何形状不太理想，但实验结果支持了楔形结构对发射电流进行微波调制的预期优势：低栅极电压，降低的电流密度，良好的热性能。

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