Proprietes mecaniques de revetements de TiO deposes par pulverisation cathodique Magnetron en condition reactive

F. Lapostolle-A. Billard; C. Frantz; Jon Stebut

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Proprietes mecaniques de revetements de TiO deposes par pulverisation cathodique Magnetron en condition reactive

机译：反应条件下磁控阴极溅射沉积TiO 2涂层的力学性能

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Des revetements de type Ti-O ont ete depose par pulversation cathodique magnetron en condition reactive (DC) sur des substrats en acies rapide. (M2), a partir de cibles en titane pur et dans des melanges argon/oxygene varies. Ces revetements sont caracterises aux niveaux structural (Diffraction des rayons X) et mecanique (micro duretes et mesures de contraintes intrinseques) en fonction du debit d'oxygene et de la polarisation.

机译：Ti-O型涂层是通过磁控阴极溅射在反应条件下（DC）在快速钢基材上沉积的。（M2），来自纯钛靶材以及各种氩/氧混合物。这些涂层的结构（X射线衍射）和机械（显微硬度和内应力测量）水平是氧气流速和极化的函数。

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来源
《Le Vide》 |2000年第297期|p.270-275|共6页
作者
F. Lapostolle-A. Billard; C. Frantz; Jon Stebut;
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正文语种 fre
中图分类一般工业技术;
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