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Micromachining and microfabrication process technology XIX
Micromachining and microfabrication process technology XIX
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1.
Fabrication of microelectromechanical systems (MEMS) cantilevers for photoacoustic (PA) detection of terahertz (THz) radiation
机译:
微机电系统(MEMS)悬臂的制造,用于太赫兹(THz)辐射的光声(PA)检测
作者:
R. Newberry
;
N. Glauvitz
;
R. Coutu Jr.
;
I.R. Medvedev
;
D. Petkie
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS;
Cantilever;
Photoacoustic;
Terahertz Sensor;
2.
Thin Film Fabrication and System Integration Test Run for a Microactuator for a Tuneable Lens
机译:
用于可调透镜的微致动器的薄膜制造和系统集成测试运行
作者:
Dominik Hoheisel
;
Lutz Rissing
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
electromagnetic microactuator;
combination of electromagnetic and electrostatic actuation;
tuneable lens;
integrated electrostatic air gap measurement;
polyimide membrane;
Ni-Fe foil;
water solveable polymer;
3.
Deep Silicon Etching: Current Capabilities Future Directions
机译:
深硅蚀刻:当前的能力和未来的方向
作者:
Russ Westerman
;
Linnell Martinez
;
David Pays-Volard
;
Ken Mackenzie
;
Thierry Lazerand
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
deep silicon etching;
DRIE;
HAR;
ARDE;
MEMS;
Through Silicon Via;
plasma dicing;
packaging;
4.
Periodic nanostructures fabricated by Talbot extreme ultraviolet lithography
机译:
Talbot极紫外光刻技术制备的周期性纳米结构
作者:
W. Li
;
D. Patel
;
C.S. Menoni
;
A. Stein
;
W. Chao
;
E. Anderson
;
M.C. Marconi
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Extreme ultraviolet;
laser;
nanostructures;
Talbot;
table top;
5.
Residual stress control during the growth and release process in gold suspended microstructures
机译:
金悬浮微结构在生长和释放过程中的残余应力控制
作者:
Akshdeep Sharma
;
Deepak Bansal
;
Amit Kumar
;
Dinesh Kumar
;
Kamaljit Rangra
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
RF MEMS;
Plasma ashing;
Critical Point Dryer (CPD);
Electroplating;
Microstructure;
Deformation;
6.
Microfabrication of passive electronic components with printed graphene-oxide deposition
机译:
具有印刷氧化石墨烯沉积的无源电子元件的微细加工
作者:
Dogan Sinar
;
George K. Knopf
;
Suwas Nikumb
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Flexible electronics;
inkjet printing;
graphene-oxide synthesis;
laser assisted thermal reduction;
passive electronics;
microelectrodes;
7.
Fabrication technology to increase surface area of ionomer membrane material and its application towards high surface area electric double layer capacitors
机译:
增加离聚物膜材料表面积的制造技术及其在高表面积双电层电容器中的应用
作者:
Alberto Andre Chang
;
Jasbir N. Patel
;
Cristina Cordoba
;
Bozena Kaminska
;
Karen Kavanagh
会议名称:
《》
|
2014年
关键词:
microfabrication;
embossing;
membrane;
ionomer;
commercial;
surface area;
stamping;
capacitor;
8.
Laser assisted and hermetic room temperature bonding, based on direct bonding technology
机译:
基于直接粘合技术的激光辅助密封室温粘合
作者:
Jeroen Haneveld
;
Peter Tijssen
;
Johannes Oonk
;
Mark Olde Riekerink
;
Hildebrand Tigelaar
;
Ronny van t Oever
;
Marko Blom
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Microfluidics;
MEMS;
BioMEMS;
Medical Microsystems;
Bonding;
Laser;
Wafer Level Packaging;
9.
Design and Fabrication of Sub-wavelength Annular Apertures on Fiber Tip for Femtosecond Laser Machining
机译:
飞秒激光加工光纤尖端亚波长环形孔径的设计与制作
作者:
Yen-Chun Tung
;
Ming-Han Chung
;
I-Hui Sung
;
Chih-Kung Lee
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
depth of focus;
diffraction limit;
femtosecond laser;
Bessel light beam;
Sub-wavelength annular apertures;
Micromachining;
High aspect ratio;
10.
DESIGN AND FABRICATION OF 3-AXIS ACCELEROMETER SENSOR MICROSYSTEM FOR WIDE TEMPERATURE RANGE APPLICATIONS USING SEMI-CUSTOM PROCESS
机译:
半定制过程的3轴加速度计传感器微系统在宽温度范围应用中的设计与制造
作者:
A. Merdassi
;
Y. Wang
;
G. Xereas
;
V. P. Chodavarapu
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Capacitive accelerometers;
POLYMUMPS;
CMOS capacitance readout circuit;
Silicon Carbide;
RF sputtering deposition;
11.
Resonator structures on AlN ceramics surface treated by laser radiation
机译:
激光辐射处理的AlN陶瓷表面的谐振器结构
作者:
Pawel E. Koziol
;
Arkadiusz J. Antonczak
;
Bogusz Stepak
;
Przemyslaw A. Gorski
;
Michal Walczakowski
;
Norbert Palka
;
Krzysztof M. Abramski
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
laser micromachining;
metallization;
metamaterials;
ceramics;
spiral resonator;
split ring resonator;
12.
Compliant MEMS Mechanism to extend resolution in Fourier Transform Spectroscopy
机译:
兼容的MEMS机制可扩展傅里叶变换光谱学中的分辨率
作者:
A. Sauceda-Carvajal
;
H. D. Kennedy-Cabrera
;
J. Hernandez-Torres
;
A- L- Herrera-May
;
Jose Mireles Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS mechanical Amplifier;
Compliant Amplifier Mechanism;
Micro Fourier Transform Spectroscopy;
13.
Isolating the negative stiffness region of a buckled Si/SiO2 membrane
机译:
隔离弯曲的Si / SiO2膜的负刚度区域
作者:
Kyle K. Ziegler
;
Robert A. Lake
;
Ronald A Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS;
Buckling;
Negative spring constant;
Membrane deflection;
14.
Calibrating bimetallic grayscale photomasks to photoresist response for precise micro-optics fabrication
机译:
校准双金属灰度光掩模以响应光致抗蚀剂,以实现精确的微光学制造
作者:
Glenn H. Chapman
;
Reza Qarehbaghi
;
Santiago Roche
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Grayscale photomask;
Bimetallic thin-film;
laser grayscale mask writing;
256 gray-level photomask;
grayscale mask matching photoresist;
calibrating grayscale photomasks;
15.
Chemical mechanical polishing of boron-doped polycrystalline silicon
机译:
掺硼多晶硅的化学机械抛光
作者:
Hamidreza Pirayesh
;
Kenneth Cadien
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
16.
A novel process for the fabrication of microstructures half the listed minimum feature size of a direct-write laser lithography system
机译:
一种制造微结构的新颖工艺,其尺寸仅为直写激光光刻系统列出的最小特征尺寸的一半
作者:
Robert A. Lake
;
Ronald A. Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS;
direct write;
laser lithography;
maskless photolithography;
17.
Fabrication of 3D surface structures using gray-scale lithography
机译:
使用灰度光刻制作3D表面结构
作者:
Christopher Stilson
;
Rajan Pal
;
Ronald Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Grayscale;
Direct Write;
RIE;
Micro-contacts;
18.
Phase Change Materials (PCM) fabricated in vertical structures for reconfigurable and tunable circuits
机译:
以垂直结构制造的相变材料(PCM),用于可重构和可调电路
作者:
Eduardo Barajas
;
Ronald A. Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
phase change materials;
sputtering;
GeTe;
GST;
19.
Optimal microelectromechanical systems (MEMS) device for achieving high pyroelectric response of AlN
机译:
用于实现AlN高热电响应的最佳微机电系统(MEMS)装置
作者:
Bemnnet Kebede
;
Ronald A. Coutu Jr.
;
LaVern Starman
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Pyroelectricity;
aluminum nitride;
AlN;
MEMS;
20.
Laser micromachining of oxygen reduced graphene-oxide films
机译:
氧还原氧化石墨烯薄膜的激光微加工
作者:
Dogan Sinar
;
George K. Knopf
;
Suwas Nikumb
;
Anatoly Andrushchenko
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Graphene-oxide ink;
laser assisted thermal reduction;
laser ablation;
laser micromachining;
21.
Design of active temperature compensated composite free-free beam MEMS resonators in a standard process
机译:
有源温度补偿复合自由束MEMS谐振器的标准工艺设计
作者:
George Xereas
;
Vamsy P. Chodavarapu
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS resonators;
temperature compensation;
active compensation;
PolyMUMPs;
Free-Free beam resonators;
22.
Facile fabrication of nanogap electrodes for suspended graphene characterization using direct ion beam patterning
机译:
使用直接离子束构图轻松制造用于悬浮石墨烯表征的纳米间隙电极
作者:
Zhengqing John Qi
;
A. T. Charlie Johnson
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
23.
Annular Heating of Optical Fiber with a CO_2 Laser using Reflective Axicon Elements
机译:
使用反射式Axicon元件用CO_2激光器对光纤进行环形加热
作者:
William Klimowych
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Axicon;
Zone heating;
Quasi Laguerre Gaussian beam;
Conical and cylindrical beam structures;
Fiber laser combiners;
End caps;
Tapering;
Ball lensing;
Splicing;
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