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Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI
Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI
召开年:
2013
召开地:
Grenoble(FR)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
Investigation on the Dielectric Behavior of Aluminum Nitride Thin Films at Different Temperatures Applying a Time-zero Approach
机译:
零时差法研究氮化铝薄膜在不同温度下的介电行为
作者:
Michael Schneider
;
Achim Bittner
;
Ulrich Schmid
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
aluminum nitride;
dielectric breakdown;
thin films;
sputter deposition;
MIS;
MIM;
depletion layer;
2.
A RESONANCE-BASED SOLAR ELEMENT: A NUMERICAL MODEL AND MICRO/NANO TECHNOLOGY APPLICATION
机译:
基于共振的太阳能元素:数值模型和微纳米技术应用
作者:
P. Fiala
;
P. Drexler
;
D. Nespor
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Energy harvesting;
resonant generator;
THz tuned structure;
the finite element analysis;
experimental structure;
3.
Exploiting Infrared Transparency of Silicon for the Construction of Advanced MOEMS Vibration Sensors
机译:
利用硅的红外透明性来构建先进的MOEMS振动传感器
作者:
Wilfried Hortschitz
;
Andreas Kainz
;
Joerg Encke
;
Franz Kohl
;
Harald Steiner
;
Michael Stifter
;
Thilo Sauter
;
Franz Keplinger
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
MOEMS;
Infrared;
Transparency of Silicon;
Vibration Sensors;
4.
A Lorentz Force Actuated Magnetic Field Sensor with Capacitive Read-Out
机译:
具有电容读数的洛伦兹力致磁场传感器
作者:
M. Stifter
;
H. Steiner
;
A. Kainz
;
F. Keplinger
;
W. Hortschitz
;
T. Sauter
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Resonant transducer;
Lorentz force;
SU-8 bonding process;
Capacitive read-out;
5.
Mid-Infrared Rib Waveguide Absorption Sensors Based on Si
机译:
基于Si的中红外肋状波导吸收传感器
作者:
Ventsislav Lavchiev
;
Christian Kristament
;
Markus Brandstetter
;
Georg Ramer
;
Bernhard Lendl
;
Ursula Hedenig
;
Thomas Grille
;
Peter Irsigler
;
Bernhard Jakoby
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Si;
rib waveguide;
photonic;
sensing;
fluid;
opto-electronic;
mid-infrared;
absorption;
6.
Detection of bad indoor environment with a miniaturized gas sensor system
机译:
用小型气体传感器系统检测恶劣的室内环境
作者:
J. Huber
;
R. Binninger
;
K. Schmitt
;
J. Woellenstein
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
indoor environment;
volatile organic compounds;
preconcentrator;
gas sensor;
7.
Counting X-ray line detector with monolithically integrated readout circuits
机译:
具有单片集成读出电路的X射线线检测器计数
作者:
T. Lohse
;
P. Krueger
;
H. Heuer
;
M. Oppermann
;
H. Torlee
;
N. Meyendorf
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
X-ray detector;
line detector;
direct converting detection;
GaAs;
imaging;
8.
Self-aligned Single-mask Fabrication Process for Electro-thermal Microactutors using ICP-RIE
机译:
使用ICP-RIE的电热微执行器自对准单掩模制造工艺
作者:
Ali B. Alamin Dow
;
Adel Gougam
;
Nazir P. Kherani
;
I. W. Rangelow
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
piezoelectricity;
energy harvesting;
modeling;
vibration;
aluminum nitride;
MEMS;
9.
Microgalvanic nickel pulse plating process for the production of thermal actuators
机译:
用于热执行器的微电流镍脉冲电镀工艺
作者:
W. Hansal
;
H. Steiner
;
R. Mann
;
M. Halmdienst
;
J. Schalko
;
F. Keplinger
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Pulse Plating;
Micro Galvano-forming;
Nickel;
Aspect Ratio;
Thermal Actuator;
MEMS;
10.
Chemical microsensors based on hydrogels with adjustable measurement range
机译:
基于水凝胶的化学微传感器,测量范围可调节
作者:
W. Haas
;
J. W. Bartha
;
W.-J. Fischer
;
A. Richter
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
hydrogel based microsensors;
ethanol concentration sensor;
semiconductor polymer microsystem;
hydrogel integration;
11.
CONTOUR AND FLEXURE-ACTUATED IN-PLANE MODES OF ALN-BASED PIEZOELECTRIC VIBRATING MEMS
机译:
基于AlN的压电振动MEMS的轮廓和弯曲激励平面模式
作者:
V. Ruiz-Diez
;
T. Manzaneque
;
J. Hernando-Garcia
;
A. Ababneh
;
M. Kucera
;
A.N. Al-Omari
;
A. Bittner
;
U. Schmid
;
H. Seidel
;
J.L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
MEMS;
piezoelectric;
in-plane motion;
AlN;
12.
Magnetic circuit design for miniaturized magnetic shape memory alloy actuators
机译:
小型磁性形状记忆合金执行器的磁路设计
作者:
C. Bolzmacher
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Magnetic shape memory alloy;
magnetic circuit design;
toroidal coil;
13.
Biomimetic MEMS sensor array for navigation and water detection
机译:
用于导航和水检测的仿生MEMS传感器阵列
作者:
Oliver Futterknecht
;
Mark O. Macqueen
;
Salmah Karman
;
S. Zaleha M. Diah
;
Ille C.Gebeshuber
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
MEMS;
biomimetics;
sensory system;
navigation;
water detection;
polarization;
14.
Design, fabrication and characterization of a very low frequency piezoelectric energy harvester designed for heart beat vibration scavenging
机译:
用于心跳振动清除的超低频压电能量采集器的设计,制造和表征
作者:
Colin M.
;
Basrour S.
;
Rufer L.
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Vibration energy harvesting;
Self-powered cardiac implants;
Piezoelectric;
Thick PZT layers;
Low frequency;
15.
2-2 composites based on 011-poled relaxor-ferroelectric single crystals: from the piezoelectric anisotropy to the hydrostatic response
机译:
2-1极化弛豫铁电单晶的2-2复合材料:从压电各向异性到静水压响应
作者:
C. R. Bowen
;
V. Yu. Topolov
;
D. N. Betts
;
H. A. Kim
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
2-2 composite;
piezoelectric properties;
relaxor-ferroelectric single crystal;
auxetic polymer;
squared figure of merit;
anisotropy factor;
hydrostatic parameter;
16.
Multilayer Micromachined Bandpass Filter for L/S Band Satellite Communication Systems
机译:
用于L / S波段卫星通信系统的多层微机械带通滤波器
作者:
Qureshi. A.Q.A
;
Pelliccia. L
;
Colpo. S
;
Iannacci. J
;
Farinelli. P
;
Margesin. B
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
RF MEMS Filter;
Micromachining;
Multilayer Bandpass Filter;
Resonator;
Thermocompression Bonding;
17.
Interfacial adhesion between the iron fillers and the silicone matrix in magneto-rheological elastomers at high deformations
机译:
高变形下磁流变弹性体中铁填料和硅树脂基质之间的界面粘附
作者:
Tobias Poessinger
;
Christian Bolzmacher
;
Laurence Bodelot
;
Nicolas Triantafyllidis
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
magneto-rheological elastomer;
silicone elastomer;
carbonyl iron powder;
silane primer;
interfacial adhesion;
high deformation;
18.
A Large Deflection Model of Silicon Membranes for Testing Intrinsic Stress of MEMS Microphones by Measuring Pull-In Voltage
机译:
通过测量吸合电压来测试MEMS麦克风固有应力的硅膜大挠度模型
作者:
Florian Oesterle
;
Franz Fink
;
Harald Kuhn
;
Alfons Dehe
;
Robert Weigel
;
Alexander Koelpin
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
MEMS;
silicon microphone;
circular diaphragm;
inertial tensile stress;
test;
large deflection;
pull-in;
19.
MEMS-based silicon cantilevers with integrated electrothermal heaters for airborne ultrafine particle sensing
机译:
带有集成电热加热器的基于MEMS的硅悬臂,用于机载超细颗粒感测
作者:
Hutomo Suryo Wasisto
;
Stephan Merzsch
;
Andreas Waag
;
Erwin Peiner
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
MEMS;
cantilever sensor;
electrothermal excitation;
piezoresistive frequency readout;
silicon bulk wafer;
ICP cryogenic dry etching;
20.
Advanced Modeling of AIN-based Micromachined Energy Harvesters Driven by (β-Emitting Radioisotopes
机译:
(β-发射放射性同位素驱动的基于AIN的微机械能量采集器的高级建模
作者:
Ali B. Alamin Dow
;
Ulrich Schmid
;
Nazir P. Kherani
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
piezoelectricity;
energy harvesting;
modeling;
vibration;
aluminum nitride;
MEMS;
21.
Simulation and characterization of silicon nanopillar-based nanoparticle sensors
机译:
基于硅纳米柱的纳米粒子传感器的仿真和表征
作者:
Hutomo Suryo Wasisto
;
Stephan Merzsch
;
Kai Huang
;
Andrej Stranz
;
Andreas Waag
;
Erwin Peiner
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
silicon nanopillar;
finite element modeling (FEM);
resonant characteristics;
piezoelectric actuator;
nanoparticle;
3D model;
22.
Modeling Methods of MEMS Micro-Speaker with Electrostatic Working Principle
机译:
具有静电工作原理的MEMS微型扬声器建模方法
作者:
Tumpold D.
;
Kaltenbacher M.
;
Glacer C
;
Nawaz M.
;
Dehe A.
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
MEMS;
finite element modeling;
speaker;
array;
nonlinearities;
acoustics;
mechanics;
Kirchhoff Helmholtz integral;
23.
Design strategies of opto-mechanical micro oscillators for the detection of the ponderomotive squeezing
机译:
光电子机械振荡器的设计策略
作者:
Borrielli A.
;
Bonaldi M.
;
Serra E.
;
Bagolini A.
;
Boscardin M.
;
Cataliotti F. S.
;
Marin F.
;
Marino F.
;
Pontin A.
;
Prodi G. A.
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Low dissipation micro-oscillator;
Micromechanical devices and systems;
Optoelectronic device characterization, design, and modeling;
Optical coatings;
Low-deformation micro-mirrors;
24.
A miniaturised autonomous sensor based on nanowire materials platform: the SiNAPS mote
机译:
基于纳米线材料平台的小型自主传感器:SiNAPS微粒
作者:
Naser Khosro Pour
;
Maher Kayal
;
Guobin Jia
;
Bjoern Eisenhawer
;
Fritz Falk
;
Adrian Nightingale
;
John C. DeMello
;
Yordan M. Georgiev
;
Nikolay Petkov
;
Justin D. Holmes
;
Michael Nolan
;
Giorgos Fagas
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Mote;
Solar Cells;
Silicon Nanowires;
Chemical Sensors;
Microfluidics;
Energy Harvesting;
Electronics Design;
Low Power;
25.
Optical actuation of silicon cantilevers: Modelling and Experimental investigation
机译:
硅悬臂梁的光学驱动:建模和实验研究
作者:
Fei Jiang
;
Adrian Keating
;
Mariusz Martyuink
;
Dilusha Silva
;
Lorenzo Faraone
;
John M. Dell
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
26.
Experimental methodology to measure damping in microstructures by using the actuation force hysteresis curve
机译:
利用驱动力磁滞曲线测量微结构阻尼的实验方法
作者:
G. De Pasquale
;
A. Soma
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Squeeze film damping;
hysteresis loop;
MEMS;
viscous dissipations;
laser microscopy;
27.
Formation of a Deposit on Workpiece Surface in Polishing Nonmetallic Materials
机译:
抛光非金属材料时在工件表面上形成沉积物
作者:
Yu. D. Filatov
;
G. Monteil
;
V. I. Sidorko
;
O.Yu. Filatov
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
28.
Control of Cavitation Density through Gas and Acoustic Uniformity in a Proximity Megasonic Pre-bond Cleaning System
机译:
接近兆超音速预粘结清洁系统中通过气体和声均匀性控制空化密度
作者:
D. Dussault
;
E. Liebscher
;
F. Fournel
;
V. Dragoi
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Fusion Wafer Bonding;
Wafer Clean;
Megasonic;
3D Integration;
Cavitation;
29.
Design, Fabrication and Characterization of a Micromachined Piezoelectric Energy Harvester Excited by Ambient Vibrations
机译:
环境振动激发的微机械压电能量采集器的设计,制作与表征
作者:
Ali B. Alamin Dow
;
Achim Bittner
;
Ulrich Schmid
;
Nazir P. Kherani
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
piezoelectricity;
energy harvesting;
vibration;
aluminum nitride;
30.
Design and Fabrication of a 5 MHz Ultrasonic Phased Array Probe with curved transducer
机译:
具有弯曲传感器的5 MHz超声相控阵探头的设计与制造
作者:
Julia Fischer
;
Thomas Herzog
;
Susan Walter
;
Henning Heuer
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Ultrasonic;
phased array;
1-3 composite;
concave probe;
31.
Fabrication of an array-like freeform molding tool for UV-replication using a step and repeat process
机译:
使用分步重复工艺制造用于UV复制的阵列状自由形式成型工具
作者:
J. Dunkel
;
F. Wippermann
;
A. Brueckner
;
A. Reimann
;
A. Braeuer
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
artificial compound eye camera;
wafer level optics;
micro optics;
imaging;
32.
Fabrication of double-sided micro structured mechanical sensors based on SU-8 resist using a new micro molding process
机译:
采用新的微成型工艺制造基于SU-8抗蚀剂的双面微结构机械传感器
作者:
A. Oerke
;
S. Buettgenbach
;
A. Dietzel
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
SU-8;
micro-fabrication;
molding process;
MEMS;
33.
A closed-loop system for frequency tracking of piezoresistive cantilever sensors
机译:
压阻式悬臂传感器频率跟踪的闭环系统
作者:
Hutomo Suryo Wasisto
;
Qing Zhang
;
Stephan Merzsch
;
Andreas Waag
;
Erwin Peiner
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
closed-loop system;
phase locked loop (PLL);
frequency tracking;
voltage-controlled oscillator (VCO);
piezoresistive cantilever;
cross-sensitivity;
34.
A nano-power energy harvesting IC for arrays of piezoelectric transducers
机译:
用于压电换能器阵列的纳米功率能量收集IC
作者:
M. Dini
;
M. Filippi
;
A. Romani
;
V. Bottarel
;
G. Ricotti
;
M. Tartagni
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
35.
Simulation, design and fabrication of a planar micro thermoelectric generator
机译:
平面微热电发电机的仿真,设计与制造
作者:
S. Pelegrini
;
A. Adami
;
C. Collini
;
P. Conci
;
L.Lorenzelli
;
A. A. Pasa
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
thermoelectric generators;
thin film electrodeposition;
energy harvesting;
36.
Analysis of local deformation effects in resistive strain sensing of a submicron-thickness AFM cantilever
机译:
亚微米AFM悬臂电阻应变传感中的局部变形效应分析
作者:
Jonathan D. Adams
;
Christian H. Schwalb
;
Marcel Winhold
;
Maja Dukic
;
Michael Huth
;
Georg E. Fantner
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Microcantilever;
atomic force microscopy;
self-sensing cantilever;
resistive strain sensing;
nanogranular tunnelling resistor;
finite element analysis;
37.
Simulation of Thick Film PZT Actuators with Interdigitated Electrodes
机译:
带有叉指电极的厚膜PZT执行器的仿真
作者:
Mohanad Mohammed Zaki
;
Sandy Zaehringer
;
Norbert Schwesinger
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Interdigitated electrodes;
thick film;
piezoelectric non-linearity;
micro actuator;
FEM-simulation;
38.
Design and Material Aspects for Thermoelectric Energy Harvesting Devices in Aircrafts
机译:
飞机热电能量收集装置的设计和材料方面
作者:
A.Elefsiniotis
;
N. Kokorakis
;
Th. Becker
;
U. Schmid
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Energy harvesting;
thermoelectric generators;
inner cylinder;
hollow cylinder;
thermal mass;
phase change materials;
autonomous wireless sensor nodes;
39.
Parametrization of Ambient Energy Harvesters for Complementary Balanced Electronic Applications
机译:
互补平衡电子应用环境能量收集器的参数化
作者:
Yannick Verbelen
;
An Braeken
;
Abdellah Touhafi
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
40.
Simulation and design optimization of transparent heaters for spectroscopic micro cells
机译:
用于光谱微电池的透明加热器的仿真和设计优化
作者:
Henning Voellm
;
Jonathan Herrmann
;
Reinhard Maier
;
Dara Feili
;
Volker Haeublein
;
Heiner Ryssel
;
Helmut Seidel
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
transparent heater;
spectroscopic micro cell;
simulation;
optimization;
uniform temperature distribution;
thermal simulation;
heater optimization;
chip scale atomic clock;
41.
Flip-chip packaging of piezoresistive barometric pressure sensors
机译:
压阻气压传感器的倒装芯片封装
作者:
T. Waber
;
W. Pahl
;
M. Schmidt
;
G. Feiertag
;
S. Stufler
;
R. Dudek
;
A. Leidl
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Flip-chip packaging;
piezoresistive barometric pressure sensors;
temperature hysteresis;
42.
MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques
机译:
MEMS压力传感器采用先进的整体微加工技术制造
作者:
Gabriel Vanko
;
Peter Hudek
;
Johann Zehetner
;
Jaroslav Dzuba
;
Pavlina Choleva
;
Martin Vallo
;
Ivan Ryger
;
Tibor Lalinsky
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
residual stress;
AlGaN/GaN membrane;
CHEMT;
laser ablation;
high temperature metallization;
43.
Photovoltaic Energy Harvesting for Smart Sensor Systems
机译:
智能传感器系统的光伏能量收集
作者:
Martin Kasemann
;
Karola Ruehle
;
Karim M. Gad
;
Stefan W. Glunz
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
energy harvesting;
indoor photovoltaics;
low-lighting conditions;
photovoltaic cells;
solar cells;
44.
Shortening of the process chain by tactile inline measurement
机译:
通过触觉在线测量缩短过程链
作者:
Dr. Lutz Doering
;
Nicole Thronicke
;
Christian Loebner
;
Dr. Thomas Frank
;
Dr. Steffen Reich
;
Stefan Vollmeke
;
Arndt Steinke
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Sensor;
microelectromechanical device;
piezo-resistive;
bridge;
cantilever;
45.
From nature to MEMS: towards the detection-limit of crickets' hair sensors
机译:
从自然到MEMS:朝的头发传感器的检测极限
作者:
A.M.K. Dagamseh
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Bio-mimetic;
artificial hair-sensor;
detection-limit;
squeeze film damping;
46.
MEMS sensors for mm-range displacement measurements with sub nm-resolution
机译:
MEMS传感器,用于亚纳米分辨率的毫米范围位移测量
作者:
Vladimir T. Stavrov
;
Vencislav M. Todorov
;
Assen A. Shulev
;
Chavdar M. Hardalov
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
mm-range displacement sensor;
MEMS;
sidewall piezoresistors;
nm-resolution;
47.
MEMS pressure sensor with maximum performances by using novel back-side direct-exposure concept featuring through glass vias
机译:
MEMS压力传感器采用新颖的背面直接曝光概念(通过玻璃过孔),具有最佳性能
作者:
B. Mukhopadhvav
;
M. Fritz
;
P. Mackowiak
;
T. C. Vu
;
O. Ehrmann
;
K.-D. Lang
;
H.-D.Ngo
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
48.
Pressure Dependence of the Quality Factor of Piezoelectrically driven AIN/Si-Microcantilevers
机译:
压电驱动AIN / Si微悬臂梁品质因数的压力依赖性
作者:
A. Ababneh
;
A.N. Al-Omari
;
H.C. Qiu
;
T. Manzaneque
;
J. Hernando
;
J. L. Sanchez-Rojas
;
A. Bittner
;
U. Schmid
;
H. Seidel
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Resonantly driven micro cantilevers;
piezoelectric;
aluminiumnitride;
quality factor;
pressure dependence;
49.
Investigations on the High Temperature Compatibility of Various Adhesion Layers for Platinum
机译:
铂金各种粘附层的高温相容性研究
作者:
A. Ababneh
;
A.N. Al-Omari
;
M. Marschibois
;
D. Feili
;
H. Seidel
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
Platinum;
adhesion layer;
high temperature;
diffusion;
grain boundaries;
hillock formation;
50.
Measurement of the 1/f noise of lateral actuated MEMS with sidewall piezoresistors
机译:
利用侧壁压敏电阻测量横向激励MEMS的1 / f噪声
作者:
Vladimir Stavrov
;
Franz Kohl
;
Thilo Sauter
;
Philip Philipov
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS VI》
|
2013年
关键词:
sidewall piezoresistors;
1/f noise;
piezoresistive MEMS;
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