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Conference on MOEMS and miniaturized systems
Conference on MOEMS and miniaturized systems
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1.
MEMS/MOEMS Application to Optical Communication
机译:
MEMS / MOEMS应用于光通信
作者:
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
2.
A Study of Optomechanical Variations and Control in a MOEMS Switch Model
机译:
MoEMS开关模型中的光学机械变化与控制研究
作者:
Arthur S. Morris
;
David Winick
;
Robert A. Stoll
;
Thomas E. Plowman
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
cross-connect;
MOEMS;
MEMS;
fiber couple;
simulation;
parametric behavioral model;
top-down design;
3.
MEMS spatial light modulators with integrated electronics
机译:
MEMS具有集成电子产品的空间光调制器
作者:
Paul Bierden
;
Thomas Bifano
;
Steven Cornelissen
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
spatial light modulator;
micromirror;
MEMS;
4.
Silicon Nitride Biaxial Pointing Mirrors with Stiffening Ribs
机译:
氮化硅双轴指向镜子加强肋骨
作者:
David L. Dickensheets
;
Phillip A. Himmer
;
Robert A. Friholm
;
B. Jeffrey Lutzenberger
;
Todd J. Kaiser
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
biaxial mirrors;
stiffening ribs;
MOEMS;
MEMS;
5.
Microlens Fabrication Using the Glass Transition Temperature Modification by the LIGA Process
机译:
微透镜制造使用LIGA工艺的玻璃化转变温度改性
作者:
Seung S. Lee
;
Kwang-Cheol Lee
;
Sung-Keun Lee
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
microlens;
MEMS;
glass transition temperature;
LIGA;
PMMA;
6.
Component Development and Integration Issues for MOEMS
机译:
MOEMS的组成开发和集成问题
作者:
Rein Lavrijsen
;
Christian Baks
;
Yahong Yao
;
Bai Xu
;
James Castracane
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MOEMS;
optical interconnects;
DMD;
VCSEL;
diffraction;
grating;
7.
Improvement on the surface roughness of micro lens array in the excimer laser machining process
机译:
基准激光加工过程中微透镜阵列表面粗糙度的改进
作者:
Rang-Seng Chang
;
Tone-Yen Lee
;
Hsau-Yu Chou
;
Chi-Sheng Huang
;
Shuh-Yi Wang
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
excimer laser machining;
mirror surface;
micro lens array;
8.
Integration nanometer indicating system for reducing temperature drift of inteferometer
机译:
减少干涉仪温度漂移的集成纳米指示系统
作者:
Chunyong Yin
;
Chunyong Yin
;
Jian Wu
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
surface plasmon resonance;
special retroreflector;
nanometer positioning;
9.
Fast 1×2 and 2×2 fiber optic switches with piezoelectric actuation
机译:
快速1×2和2×2光纤开关,具有压电驱动
作者:
Rolf Goering
;
Kay Kubitz
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
Fiber optic switch;
Piezoelectric actuator;
Microlens array;
Fiber array;
Hybrid microoptic integration;
10.
Optical Sensors with MEMS, Slit Masks and Micromechanical Devices
机译:
具有MEMS,SLIT面罩和微机械设备的光学传感器
作者:
Andreas Wuttig
;
Rainer Riesenberg
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
optical sensor;
spectrophotometer;
spatial light modulator;
optical switch;
slit mask;
MOEMS;
MEMS;
11.
Magnetically actuated microshutter arrays
机译:
磁致动微型箱阵列
作者:
S.
;
D. S. Schwinger
;
S. H. Moseley
;
C. J. Monroy
;
M. J. Li
;
A. S. Kutyrev
;
D. Franz
;
R. K. Fettig
;
K. A. Blumenstock
;
S.Aslam
;
D. B. Mott
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
microshutter;
transmissive mask;
silicon nitride;
DRIE;
magnetic actuation;
12.
Control of Image-Shifting Coils for Vibration Isolation of an Electron Microscope
机译:
电子显微镜振动隔离图像移位线圈的控制
作者:
Ryuichi Tanaka
;
Sukehiro Itoh
;
Shinya Kijimoto
;
Yoichi Kanemitsu
;
Koichi Matsuda
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
13.
Fast 1 X 2 and 2 X 2 fiber optic switches with piezoelectric actuation
机译:
快速1 x 2和2 x 2带压电致动的光纤开关
作者:
Kay Kubitz
;
Rolf Goering
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
fiber optic switch;
hybrid microoptic integration;
fiber array;
microlens array;
piezoelectric actuator;
14.
Thermal Management in Optical MEMS
机译:
光学MEMS中的热管理
作者:
Joseph J. Talghader
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
15.
Silicon-on-Insulator Micro-Mechanical Optical Switch with Post Processed Polymeric Waveguides
机译:
绝缘体上的绝缘子微机械光学开关,具有后加工聚合物波导
作者:
Ch
;
Charles T. Sullivan
;
Chris P. Tigges
;
Thor Bakke
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
optical switch;
post-processing;
polymeric waveguides;
silicon on insulator;
16.
Novel optical MEMS / Micromechanical Devices as Field Selectors for Imaging Spectrometry
机译:
新型光学MEMS /微机械设备作为成像光谱法的场选择器
作者:
A. Wuttig
;
R. Riesenberg
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
imaging spectrometry;
NGST;
spatial light modulator;
slit positioning system;
slit masks;
MOEMS;
17.
MOEMS for optical communication: status of the European industrial activities and technical and economical trends for the next 3 years
机译:
用于光学通信的MOEMS:欧洲工业活动的现状和未来3年的技术和经济趋势
作者:
Jean Christophe Eloy
;
Eric Mounier
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
all-optical telecommunication networks;
DWDM;
MOEMS;
18.
Low-cost fiber collimation for MOEMS switches by ink-jet printing
机译:
喷墨印刷的MoEMS开关的低成本纤维准直
作者:
Michael E. Grove
;
Donald J. Hayes
;
Ting Chen
;
W. Royall Cox
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
fiber collimation;
micro-optics;
ink-jet;
microdispensing;
MOEMS;
19.
Transfer of micro-optical structures into GaAs and diamond
机译:
将微光结构转移到GaAs和钻石中
作者:
Fredrik Nikolajeff
;
Mikael Karlsson
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micro-optics;
VCSEL;
diffractive optics;
laser beam shaping;
microstructure fabrication;
semiconductors;
20.
Vertical Stiffening Members for Flatness Control of Surface Micromachined Structures
机译:
用于平坦度控制表面微机械结构的垂直加强构件
作者:
David L. Dickensheets
;
B. Jeffrey Lutzenberger
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micromachined structural stiffeners;
micro stiffeners;
stiffening fins;
21.
Progress and profit through micro technologies. Commercial applications of MEMS / MOEMS
机译:
通过微型技术进步和利润。 MEMS / MOEMS的商业应用
作者:
Ursula Ehrfeld
;
Wolfgang Ehrfeld
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micro technology market;
micro reactors;
mobility;
information technology;
life sciences;
medical technology;
micro devices;
mathematical modelling;
micro fabrication;
22.
Design optimization of an electrostatically driven Micro Scanning Mirror
机译:
静电动力微扫描镜的设计优化
作者:
Hubert Lakner
;
Alexander Wolter
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micro mirror;
MOEMS;
MEMS;
micromechanical;
damping;
non-manhattan;
design;
scanner;
1D-scanner;
23.
MEMS devices for all optical networks
机译:
所有光网络的MEMS设备
作者:
Armand Neukermans
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
24.
Calculating the Modulation Transfer Function of a Pyroelectric Infrared Sensor Array
机译:
计算热电红外传感器阵列的调制传递函数
作者:
Herbert Balke
;
Joerg Drescher
;
Gerald Gerlach
;
Guenter Milde
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
pyroelectric infrared sensor;
FEM;
finite element analysis;
discrete fourier transformation;
MTF;
modulation transfer function;
25.
Optical performance of pivoting micromirrors
机译:
枢转微镜的光学性能
作者:
Jay Jakubczak
;
Sita Mani
;
Fernando Bitsie
;
Grant Grossetete
;
Victor Esch
;
Ernest J. Garcia
;
Olga Blum Spahn
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
surface micromachined mirrors;
switching speed;
tilt angle;
optical performance;
26.
Development of optical MEMS carbon dioxide sensors
机译:
光学MEMS二氧化碳传感器的发展
作者:
Daniel S. Choi
;
Thomas George
;
Edward A. Johnson
;
James T. Daly
;
Anton C. Greenwald
;
William Ho
;
Lisa Last
;
Martin U. Pralle
;
Mark P. McNeal
;
Nicholas Moelders
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
infrared;
carbon dioxide sensor;
silicon micro-bridge;
photonic band gap;
NDIR;
27.
Design and Fabrication of Micromirror Arrays for UV-Lithography
机译:
微镜阵列的设计与制造UV光刻
作者:
Joerg Amelung
;
Wolfgang Doleschal
;
Ulrike Dauderstaedt
;
Peter Duerr
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micromirrors;
CMOS;
MOEMS;
pattern generators;
UV;
lithography;
SLM;
28.
MOEMS Integrated Optical Monitoring
机译:
MOEMS集成光学监测
作者:
Reza Ghaffarian
;
L. Wang
;
J. Dawson
;
P. Famouri
;
L. A. Hornak
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
fault prediction;
fault detection;
control;
optical metrology;
diffractive optics;
through-wafer optics;
29.
High-Frequency Raster Pinch Correction Scanner for Retinal Scanning Displays
机译:
视网膜扫描显示器的高频光栅捏校正扫描仪
作者:
Fr
;
Mircea Bayer
;
Karlton D. Powell
;
Frank DeWitt
;
Hakan Urey
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS scanners;
bidirectional scanning;
RSD;
raster pinch correction;
30.
Self-assembly of surface-micromachined structures using electrostatic attraction
机译:
使用静电吸引力的表面微机械结构的自组装
作者:
M. Parameswaran
;
Robert W. Johnstone
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
31.
Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
机译:
自适应光学中的波前校正的主动矩阵寻址微镜阵列
作者:
Michael Wildenhain
;
Detlef Kunze
;
Reinhard Kauert
;
Andreas Elgner
;
Wolfgang Doleschal
;
Andreas Gehner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
adaptive optics;
MOEMS;
finite element analysis;
active-matrix addressing;
surface micromachining;
piston-type mirrors;
micromirror array;
spatial light modulator;
wavefront correction;
32.
MOEMS - Enabling technologies for large optical cross-connects
机译:
MoEMS - 用于大型光学交叉连接的技术
作者:
Chuan Pu
;
Robert Doran
;
David Peale
;
Igal Brener
;
Ming-Ju Tsai
;
Sangtae Park
;
Shi-Sheng Lee
;
Patrick B. Chu
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
WDM;
optomechanical packaging;
electrostatic actuator;
optical cross-connect;
micro-mirrors;
micro-optics;
micromachining;
33.
Development of advanced micromirror arrays by flip-chip assembly
机译:
通过倒装芯片组件开发先进的微镜阵列
作者:
Victor M. Bright
;
M. Adrian Michalicek
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micromirrors;
torsion;
cantilever;
piston;
MUMPs;
MOEMS;
MEMS;
assembly;
bonding;
flip-chip;
34.
PLZT-based electro-optic modules for micromachined bio-photonics systems
机译:
基于PLZT的微机械生物光子系统的电光模块
作者:
Chong H. Ahn
;
Yasser Abdelaziez
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
BioMEMS;
μ-TAS;
light modulator, laser micromachining;
dynamic micro-lens;
PLZT;
bio-photonic systems;
electro-optic;
35.
Fabrication of five-level, ultra-planar micromirror arrays by flip-chip assembly
机译:
通过倒装芯片组件制造五层超平面微镜阵列
作者:
Victor M. Bright
;
M. Adrian Michalicek
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
micromirrors;
planarization;
MUMPs;
MOEMS;
MEMS;
fabrication;
assembly;
bonding;
flip-chip;
36.
Light-activated self-generation and parametric amplification for MEMS oscillators
机译:
MEMS振荡器的光激活自发电和参数放大
作者:
H. G. Craighead
;
J. M. Parpia
;
D. Czaplewski
;
B. Ilic
;
L. Sekaric
;
S. Turner
;
A. Olkhovets
;
A. T. Zehnder
;
M. Zalalutdinov
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
frequency conversion;
modulation;
parametric amplification;
stress;
MOEMS;
37.
Flip-chip fabrication of integrated micromirror arrays using a novel latching off-chip hinge mechanism
机译:
用新型锁存碎片铰链机构倒装芯片制造集成的微镜阵列
作者:
Victor M. Bright
;
M. Adrian Michalicek
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
MEMS;
assembly;
flip-chip;
MOEMS;
arrays;
micromirrors;
cantilever;
integration;
CMOS;
38.
Membrane mirrors for vision science adaptive optics
机译:
视觉科学自适应光学膜镜
作者:
David R. Williams
;
David Bishop
;
Bernard Sadoulet
;
J. Anthony Tyson
;
Peter Kurczynski
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
adaptive optics;
ocular aberrations;
deformable mirrors;
micromirrors;
optical MEMS;
MOEMS;
MEMS;
39.
Linear micromirror array for broadband femtosecond pulse shaping in phase and amplitude
机译:
用于宽带飞秒脉冲的线性微镜阵列相位和幅度
作者:
Stefan M. Weber
;
Severin Waldis
;
Wilfried Noell
;
Denis Kiselev
;
Jerome Extermann
;
Luigi Bonacina
;
Jean-Pierre Wolf
;
Nico F. de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
micromirrors;
UV-NIR femtosecond laser pulse shaping;
vertical comb drives;
timed DRIE;
40.
Micro-interferometer with high throughput for remote sensing
机译:
微干涉仪,具有高吞吐量遥感
作者:
Alan Scott
;
Miroslaw Florjanczyk
;
Pavel Cheben
;
Siegfried Janz
;
Brian Solheim
;
Dan-Xia Xu
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
spectrometers;
waveguides;
fourier spectroscopy;
remote sensing;
41.
Advances in SLM Development for Microlithography
机译:
微光刻表的SLM开发进展
作者:
Ulrike Dauderstaedt
;
Per Askebjer
;
Peter Bjoernaengen
;
Peter Duerr
;
Martin Friedrichs
;
Matthias List
;
Dirk Rudloff
;
Jan-Uwe Schmidt
;
Michael Mueller
;
Michael Wagner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
optical MEMS;
spatial light modulator;
DUV;
microlithography;
42.
Novel MWIR microspectrometer based on a tunable detector
机译:
基于可调谐探测器的新型MWIR微临分镜
作者:
Norbert Neumann
;
Martin Ebermann
;
Steffen Kurth
;
Karla Hiller
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
fabry-perot interferometer;
MWIR microspectrometer;
tunable infrared detector;
43.
Large area transmissive modulator for a remotely-interrogated MEMS-based optical tag
机译:
用于远程询问的基于MEMS的光学标记的大面积透射调制器
作者:
Mark E McNie
;
Andrew M Scott
;
Nicola Price
;
David J Combes
;
Gilbert W Smith
;
Kevin D Ridley
;
Kevin M Branson
;
David C Jones
;
Keith L Lewis
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS);
infra red (IR);
optical tag;
modulator;
interference;
silicon;
micro-electromechanical systems (MEMS);
laser;
44.
Empirical analysis of form drag damping for scanning micromirrors
机译:
扫描微镜卷阻尼的实证分析
作者:
Wyatt O. Davis
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
nonlinear damping;
air drag;
drag coefficient;
scanning mirror;
quality factor;
45.
Feedback Stabilized Deformable Membrane Mirrors for Focus Control
机译:
反馈稳定的可变形膜镜用于聚焦控制
作者:
Sarah J. Lukes
;
Phillip A. Himmer
;
Eric J. Moog
;
Steven R. Shaw
;
David L. Dickensheets
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MEMS;
membrane mirror;
snap-down;
pull-in;
feedback control;
closed loop;
snapdown;
46.
MEMS for pico- to micro-satellites
机译:
MEMS用于微卫星
作者:
H.R. Shea
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MEMS;
spacecraft;
satellites;
nanosatellites;
cubesats;
space;
47.
Liquid-filled varifocal lens on a chip
机译:
芯片上的液体填充的种子透镜
作者:
Seung Tae Choi
;
Jeong Yub Lee
;
Jong Oh Kwon
;
Seungwan Lee
;
Woonbae Kim
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
variable focus lens;
auto focus;
electroactive polymer;
micro fluidics;
micro imaging system;
48.
MEMS ANALYZER FOR FAST DETERMINATION OF MIXED GASES
机译:
MEMS分析仪,用于快速测定混合气体
作者:
Thomas Otto
;
Ray Saupe
;
Alexander Weiss
;
Volker Stock
;
Oliver Throl
;
Wulf Graehlert
;
Stefan Kaskel
;
Holger Schreck
;
Thomas Gessner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MEMS;
NIR spectroscopy;
gas measurement;
process control;
49.
Addressable microshutter array for a high-performance infrared miniature dispersive spectrometer
机译:
用于高性能红外微型色散光谱仪的可寻址微震阵列
作者:
S. Ilias
;
F. Picard
;
C. Larouche
;
R. Kruzelecky
;
W. Jamroz
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MEMS;
microshutter;
zipping actuator;
microslit;
electrostatic actuation;
dynamic response;
miniature spectrometer;
50.
Fabrication of large-scale mono-crystalline silicon micro-mirror arrays using adhesive wafer transfer bonding
机译:
使用粘合剂晶片转移键合的大规模单晶硅微镜阵列的制造
作者:
Fabian Zimmer
;
Frank Niklaus
;
Martin Lapisa
;
Thomas Ludewig
;
Martin Bring
;
Martin Friedrichs
;
Thor Bakke
;
Harald Schenk
;
Wouter van der Wijngaart
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
optical MEMS;
micro mirrors;
spatial light modulator;
adhesive bonding;
51.
Fine-pitch, high efficiency spatial optical modulator for mobile display applications
机译:
用于移动显示应用的细间距,高效空间光学调制器
作者:
Jong Hyeong Song
;
Sang Kyeong Yun
;
Hee Yeoun Kim
;
Seungdo An
;
Heung Woo Park
;
Yoon Joon Choi
;
Victor Yurlov
;
Anatoliy Lapchuk
;
Chung Mo Yang
;
Sung Jun Lee
;
Jae Wook Jang
;
Ki Un Lee
;
Ki Suk Woo
;
El M. Bourim
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
laser projection display;
spatial light modulator;
diffraction gratings;
piezoelectric;
micro-actuators;
SOM;
52.
Advanced Microbolometer detectors for a next generation uncooled FPA for space-based thermal remote sensing
机译:
用于下一代加工FPA的高级微泡仪检测器,用于基于空间的热遥感
作者:
Fraser Williamson
;
Linda Marchese
;
Georges Baldenberger
;
Francois Chateauneuf
;
Francis Provencal
;
Jean-Sol Caron
;
Fabien Dupont
;
Jocelyne Osouf
;
Patrick Couture
;
Linh Ngo Phong
;
Tim Pope
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
microbolometer;
focal plane array;
thermal remote sensing;
53.
Miniaturized UV/VIS Spectrometer made by MOEMS technology
机译:
由MoEMS技术制作的小型化紫外/探测光谱仪
作者:
Katsumi Shibayama
;
Takafumi Yokino
;
Katsuro Hikita
;
Norihiro Iwasaki
;
Helmut Teichmann
;
Ulrich Staerker
;
Flavio DiPrima
;
Koei Yamamoto
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
spectrometer;
UV/VIS;
MOEMS;
MEMS;
nano-imprint;
grating;
54.
Silicon oxynitride-based integrated optical switch
机译:
基于氧氮化硅的集成光开关
作者:
G. Rehder
;
M. Stochero
;
M. I. Alayo
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
optical switches;
silicon oxynitride waveguides;
PECVD materials;
55.
Integrated Incandescent Microlamp Coupled to SiO_xN_y Waveguide
机译:
综合白炽微升压耦合到SiO_XN_Y波导
作者:
D. O. Carvalho
;
M. N. P. Carreno
;
G. P. Rehder
;
M. I. Alayo
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
integrated optics;
optical waveguide;
thermal-actuated cantilevers;
plasma CVD;
silicon oxynitride;
56.
Nanosatellite distributed far infrared radiometers
机译:
纳米卫星分布到远红外辐射尺寸
作者:
L. Ngo Phong
;
F. Chateauneuf
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
far infrared;
microbolometer;
radiometer;
nanosatellite;
57.
Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
机译:
使用SOI装置层作为压阻机械弹性变压器的2D微观镜子的集成位置感测
作者:
Jan Grahmann
;
Holger Conrad
;
Thilo Sandner
;
Thomas Klose
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
scanning micromirror;
piezoresistive;
position sensor;
angular sensor;
optical SOI-MEMS;
58.
Thermally-actuated micro-shutter for MOEMS applications
机译:
用于MoEMS应用的热驱动的微快门
作者:
Derrick Langley
;
La Vern A. Starman
;
Ronald A. Coutu Jr.
;
Stanley Rogers
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
optical shutters;
actuators;
electrostatics;
thermal actuation;
59.
Scanning Photon Microscope based on a MEMS 2d Scanner Mirror
机译:
基于MEMS 2D扫描仪镜像扫描光子显微镜
作者:
Heinrich Grueger
;
Jens Knobbe
;
Thomas Egloff
;
Marc Althaus
;
Michael Scholles
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
scanning photon microscope;
laser scanning microscope;
scanner mirror;
fluorescence;
RAMAN;
CARS;
60.
Fabrication of 3D Comb Drive Microscanners by mechanically induced permanent Displacement
机译:
用机械诱导的永久性置换来制造3D梳状驱动微张镜
作者:
D. Jung
;
D. Kallweit
;
T. Sandner
;
H. Conrad
;
H. Schenk
;
H. Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
microscanner;
vertical comb drive;
AVC;
SVC;
quasi static scanning;
solid body mechanism;
w2w bonding;
61.
Large micromirror array for multi-object spectroscopy in cryogenic environment
机译:
用于低温环境中的多对象光谱的大微镜阵列
作者:
Michael Canonica
;
Severin Waldis
;
Frederic Zamkotsian
;
Patrick Lanzoni
;
Pierre-Andre Clerc
;
Wilfried Noell
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
micromirror;
mirror;
array;
multi-object spectrograph;
MOEMS;
62.
Microassembly of Three-Dimensional Rotary MEMS Mirrors
机译:
三维旋转MEMS镜的微包装
作者:
Lidai Wang
;
James K. Mills
;
William L. Cleghora
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
micro-mirror;
microassembly;
micromanipulation;
adhesive mechanical fastener;
Micro-Electromechanical Systems (MEMS);
63.
The high versatility of silicon based micro-optical modulators
机译:
基于硅的微光调制器的高通用性
作者:
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
MEMS;
micro mirror;
spatial light modulator;
display;
imaging;
microlithography;
adaptive optics;
64.
New astronomical instrument using MOEMS-based programmable diffraction gratings
机译:
新的天文仪器使用基于MoEms的可编程衍射光栅
作者:
Frederic Zamkotsian
;
Patrick Lanzoni
;
Thierry Viard
;
Christophe Buisset
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
programmable grating;
MOEMS;
programmable spectrometer;
darwin mission;
astronomical instrumentation;
65.
Hybrid microtransmitter for free-space optical spacecraft communication - design, manufacturing and characterization
机译:
用于自由空间光学航天器通信的混合微型碎片 - 设计,制造和表征
作者:
Sara Lotfi
;
Kristoffer Palmer
;
Henrik Kratz
;
Greger Thornell
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
free space optical communication;
SU-8;
v-grooves;
fresnel lens;
VCSEL;
link budget;
Pyrex 7740;
66.
Design and fabrication of a MEMS mirror for Miniature Laser Projection
机译:
微型激光投影MEMS镜的设计和制造
作者:
Rene Sanders
;
Diederik van Lierop
;
Boudewijn de Jong
;
Herman Soemers
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
MEMS mirror;
laser display;
pocket projector;
67.
APPLICATION OF Si LED's (450nm-750nm) IN CMOS INTEGRATED CIRCUITRY BASED MOEMS - SIMULATION AND ANALYSIS
机译:
SI LED(450nm-750nm)在CMOS集成电基的MOEMS中的应用 - 仿真分析
作者:
Lukas W. Snyman
;
Kingsley A. Ogudo
;
Monuko du Plessis
;
Gustave Udahemuka
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2009年
关键词:
silicon;
light emitting device;
opto-electronic integrated circuits;
CMOS technology;
Si CMOS structure;
optical simulation;
Monte Carlo;
objects based modeling;
68.
High efficiency optical MEMS by the integration of photonic lattices with Surface MEMS
机译:
高效光学MEMS通过表面MEMS的光子晶格集成
作者:
Shawn-Yu Lin
;
Seethambal Mani
;
J.G. Fleming
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
69.
Finite element modeling of the thermo-electro-mechanical coupling in pyroelectric infrared sensor arrays
机译:
热电红外传感器阵列热电机耦合的有限元建模
作者:
Gerald Gerlach
;
Guenter Milde
;
Hans-Achim Bahr
;
Herbert Balke
;
Joerg Drescher
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems》
|
2001年
关键词:
pyroelectric sensor arrays;
coupled thermo-electro-mechanical fields;
finite element method;
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