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【24h】

Variable Strahlformung fur die Mikrobearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen unter Verwendung eines deformierbaren Spiegels

机译：使用可变形反射镜对超短激光脉冲进行微加工的可变光束整形

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Der Einsatz ultrakurzer Laserpulse eignet sich in der Mikrobearbeitung um definierten Volumenabtrag zu erzeugen und gleichzeitig den thermischen Einfluss gering zu halten. Fur den industriellen Einsatz ist dabei die Ablationseffizienz - das abgetragene Volumen pro Zeit und eingesetzter mittlerer Leistung - von besonderem Interesse, um einen kosteneffektiven Prozess zu gestalten. Untersuchungen haben gezeigt, dass diese Effizienz von den Materialeigenschaften wie Ablationsschwellfluenz und optischer Eindringtiefe bestimmt wird. Aus diesen Eigenschaften ergibt sich eine optimale Ablationsfluenz. ubersteigt man diese Fluenz, sinkt die Effizienz. Die uberschussige Energie tragt nicht um Abtrag bei, sondern fordert vielmehr die Entstehung von Substrukturen oder Steigerung der Rauheit. Stehen hohe Pulsenergien zur Verfugung, so bietet sich die Variation der Strahlform an, um die optimale Ablationsfluenz zu erreichen. Diese Untersuchungen zeigen, inwiefern unter der Verwendung eines deformierbaren Spiegels die Energieverteilung im Strahl beeinflusst werden kann. Einflusse zeigen sich in rotationssymmetrischen und -asymmetrischen Strahlformen, die im Extremfall linienformige Profile darstellen. Durch die angepasste Energieverteilung kann die optimale Ablationsfluenz erreicht werden und der Ablationsprozess effizient gestaltet werden. Einflussen auf die Formgebungen werden analysiert und gegenubergestellt.
机译：超短激光脉冲的使用适用于微加工，以产生确定的体积去除量，同时保持较低的热影响。对于工业用途，为了设计一种经济有效的方法，特别要考虑消融效率（单位时间的去除量和所使用的平均功率）。研究表明，这种效率取决于材料属性，例如烧蚀阈值通量和光学穿透深度。这些性质导致最佳的消融能量密度。如果超过此通量，效率就会下降。多余的能量不会有助于去除，而是需要创建子结构或增加粗糙度。如果可获得高脉冲能量，则建议改变光束形状以实现最佳的烧蚀通量。这些研究表明，使用可变形反射镜可以在多大程度上影响光束中的能量分布。影响以旋转对称和不对称的光束形状显示，在极端情况下代表线性轮廓。最佳的烧蚀能量密度可以通过适应的能量分布来实现，并且烧蚀过程可以有效地设计。分析并比较了对形状的影响。

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