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Synthesis, characterization, and properties of a novel positive photoresist polyimide

机译：新型正性光刻胶聚酰亚胺的合成，表征和性能

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An aqueous base-soluble polyimide (BAPAF/6FDA) was obtained from the polycondensation of 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane (BAPAF) and 4,4'-(hexafluoroisopropylidene)-bis(phthalic anhydride (GFDA). It exhibits high thermal stability and high transparency at 365 nm. A novel positive photoresist was prepared by protecting BAPAF/GFDA with a trimethylsilyl group while using diazonaphthoquinone as the photosensitizer. In addition, the silylated polyimide was converted to aqueouse base-soluble polyimide in the presence of an acid and a slight amount of water. This photoresist yields a sensitivity of 110 mJ/cm(2) and a contrast of 3.24. (C) 1998 John Wiley & Sons, Inc. [References: 18]
机译：由2,2-双（3-氨基-4-羟基苯基）六氟丙烷（BAPAF）和4,4'-（六氟异亚丙基）-双（邻苯二甲酸酐）的缩聚反应得到碱溶性聚酰亚胺水溶液（BAPAF / 6FDA） GFDA）。在365 nm处显示出高的热稳定性和高透明度。通过使用重氮萘醌作为光敏剂，用三甲基甲硅烷基保护BAPAF / GFDA，制备了一种新型的正性光致抗蚀剂。此外，甲硅烷基化的聚酰亚胺被转化为水溶性碱溶聚酰亚胺在酸和少量水存在下的光致抗蚀剂，其感光度为110 mJ / cm（2），对比度为3.24。（C）1998 John Wiley＆Sons，Inc. [参考文献：18]

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