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Effect of hot filament chemical vapour deposition growth method on tungsten carbide nanostructures

机译：热丝化学气相沉积生长方法对碳化钨纳米结构的影响

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The synthesis of tungsten carbide nanostructures on silicon substrates using hot filament chemical vapour deposition is described. The effect of substrate temperature and gas mixture on structural and morphological properties of the nanostructure was studied by X-ray diffraction (XRD), field emission scanning electron microscopy, atomic force microscopy (AFM), energy dispersive X-ray analysis (EDAX) and Raman spectroscopy. The XRD results show that different phases are more likely to grow due to increasing carbonisation by increasing the temperature. Also EDAX analyses confirm the presence of tungsten and carbon in structure. All Raman spectra indicate the occurrence of the amorphous carbon, characterised by two peaks, one related to carbon network and another which is due to disorder. From AFM images we can conclude that the grain size increased by increasing the temperature and this caused the increase in the roughness.
机译：描述了使用热丝化学气相沉积在硅衬底上合成碳化钨纳米结构。通过X射线衍射（XRD），场发射扫描电子显微镜，原子力显微镜（AFM），能量色散X射线分析（EDAX）和X射线衍射（XRD）研究了衬底温度和气体混合物对纳米结构的结构和形态特性的影响。拉曼光谱。 XRD结果表明，由于通过增加温度增加碳化作用，不同的相更有可能生长。 EDAX分析还证实了结构中钨和碳的存在。所有拉曼光谱都表明存在无定形碳，其特征在于两个峰，一个峰与碳网络有关，另一个峰是由无序引起的。从AFM图像中，我们可以得出结论，随着温度的升高，晶粒尺寸增加，这导致粗糙度增加。

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