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Simple new ultrasonic piezoelectric actuator for precision linear positioning

机译：简单的新型超声波压电致动器，用于精确的线性定位

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This paper presents a new linear piezoelectric actuator for linear translation. The positioning stage driven by the actuator has a very simple and compact structure consisting of a linear guide and the linear piezoelectric actuator. The operation principle of the linear piezoelectric actuator is first described. Then, the characteristics of the positioning stage are investigated. Experiments indicate that the step size is adjustable and the minimum is 26 nm with an inertial mass of 100 g in the open-loop condition; the stage motion driven by the actuator is controlled to the target position plus or minus <1 μm within 330 ms for a traveling distance of 10 mm in the closed-loop condition.
机译：本文提出了一种用于线性平移的新型线性压电致动器。由致动器驱动的定位台具有非常简单且紧凑的结构，该结构由线性导轨和线性压电致动器组成。首先描述线性压电致动器的操作原理。然后，研究了定位台的特性。实验表明，在开环条件下，步长是可调的，最小为26 nm，惯性质量为100 g。在闭环条件下，在10毫米的行进距离内，由执行器驱动的平台运动在330毫秒内控制到目标位置正负<1μm。

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