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首页> 外文期刊>Journal of Low Temperature Physics >Design and fabrication of absorber coupled TES microbolometers on continuous Silicon-Nitride windows
【24h】

Design and fabrication of absorber coupled TES microbolometers on continuous Silicon-Nitride windows

机译：连续氮化硅窗口上吸收耦合TES微辐射热计的设计与制造

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The implementation of TES based microbolometer arrays will achieve unprecedented sensitivities for mm and sub-mm astronomy through fabrication of large format arrays and improved linearity and stability arising from strong electro-thermal feedback. We report on progress in developing TES microbolometers using Mo/Au thin films and Au absorbing structures. We present measurements of suppressing the thermal conductance through the etching of features on a continuous Silicon-Nitride window.
机译：基于TES的测微辐射热计阵列的实现将通过制造大型阵列以及增强的线性和稳定性（通过强电热反馈产生），实现毫米和亚毫米天文学的空前灵敏度。我们报告了使用Mo / Au薄膜和Au吸收结构开发TES测微仪的进展。我们提出了通过在连续的氮化硅窗口上刻蚀特征来抑制热导的措施。

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