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【24h】

Investigation of capacitance-voltage characteristics in Ge/high-kappa MOS devices

机译:Ge /高κMOS器件的电容电压特性研究

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摘要

We developed a one-dimensional numerical simulation code for the calculation of the gate voltage-capacitance characteristic of MOS structures including the self-consistently solving of the Schrodinger and Poisson equations for different alternative channel materials with high mobility such as Ge, and non-conventional gate dielectrics such as HfO2 and Al2O3. Our simulation results are confronted to experimental data for various MOS structures with different semiconductors and dielectric stacks.
机译:我们开发了一维数值模拟代码来计算MOS结构的栅极电压-电容特性,包括对高迁移率的不同替代沟道材料(如Ge和非常规材料)的Schrodinger和Poisson方程进行自洽求解。栅极电介质,例如HfO2和Al2O3。我们的仿真结果与具有不同半导体和介电叠层的各种MOS结构的实验数据相对应。

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