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首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >Adaptive contact for improving the behavior of silicon MEMS switches
【24h】

Adaptive contact for improving the behavior of silicon MEMS switches

机译：自适应触点可改善硅MEMS开关的性能

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In this paper, the concept of adaptive contacts is proposed to reduce the tilting effect of MEMS switches resulting from the tolerance of the fabricating process. Using finite element analysis, two types of MEMS switches with adaptive contacts, including free-clamped and clamped-clamped structures, are designed and tested. The results are compared with the characteristics of a typical solid contact switch, which show that the pull-in voltage decreases from 40-60 volts to 15-25 volts after several initial collisions in the case of the free-clamped structure. The properties of the fabricated device show good agreement with the result,, obtained from finite element analysis. [References: 17]
机译：在本文中，提出了自适应触点的概念，以减少由于制造工艺的公差而引起的MEMS开关的倾斜效应。使用有限元分析，设计并测试了两种类型的具有自适应触点的MEMS开关，包括自由钳位和钳位钳位结构。将结果与典型的固态接触开关的特性进行比较，结果表明，在自由夹持结构的情况下，几次初始碰撞后，吸合电压从40-60伏降低到15-25伏。从有限元分析获得的结果表明，制成的器件的特性与结果具有良好的一致性。 [参考：17]

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