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首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >A zipper RF MEMS tunable capacitor with interdigitated RF and actuation electrodes
【24h】

A zipper RF MEMS tunable capacitor with interdigitated RF and actuation electrodes

机译：具有叉指式RF和激励电极的拉链式RF MEMS可调电容器

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This paper presents a new RF MEMS tunable capacitor based on the zipper principle and with interdigitated RF and actuation electrodes. The electrode configuration prevents dielectric charging under high actuation voltages. It also increases the capacitance ratio and the tunable analog range. The effect of the residual stress on the capacitance tunability is also investigated. Two devices with different interdigital RF and actuation electrodes are fabricated on an alumina substrate and result in a capacitance ratio around 3.0 (C_(min) = 70-90 fF, C_(max) = 240-270 fF) and with a Q > 100 at 3 GHz. This design can be used in wideband tunable filters and matching networks.
机译：本文提出了一种基于拉链原理的新型RF MEMS可调电容器，并具有相互交叉的RF和激励电极。电极配置可防止在高驱动电压下进行介电充电。它还增加了电容比和可调模拟范围。还研究了残余应力对电容可调性的影响。在氧化铝基板上制造两个具有不同叉指式RF和激励电极的设备，其电容比约为3.0（C_（min）= 70-90 fF，C_（max）= 240-270 fF），并且Q> 100在3 GHz。该设计可用于宽带可调滤波器和匹配网络。

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