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Plasma-chemical reactions: low pressure acetylene plasmas

机译：等离子体化学反应：低压乙炔等离子体

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Reactive plasmas are a well-known tool for material synthesis and surface modification. They offer a unique combination of non-equilibrium electron and ion driven plasma chemistry, energetic ions accelerated in the plasma sheath at the plasma-surface interface, high fluxes of reactive species towards surfaces and a friendly environment for thermolabile objects. Additionally, small negatively charged clusters can be generated, because they are confined in the positive plasma potential. Plasmas in hydrocarbon gases, and especially in acetylene, are a good example for the discussion of different plasma-chemical processes. These plasmas are involved in a plethora of possible applications ranging from fuel conversion to formation of single wall carbon nanotubes. This paper provides a concise overview of plasma-chemical reactions (PCRs) in low pressure reactive plasmas and discusses possible experimental and theoretical methods for the investigation of their plasma chemistry. An up-to-date summary of the knowledge about low pressure acetylene plasmas is given and two particular examples are discussed in detail: (a) Ar/C2H2 expanding thermal plasmas with electron temperatures below 0.3 eV and with a plasma chemistry initiated by charge transfer reactions and (b) radio frequency C2H2 plasmas, in which the energetic electrons mainly control PCRs.
机译：反应性等离子体是用于材料合成和表面改性的众所周知的工具。它们提供了非平衡电子和离子驱动等离子体化学，在等离子体-表面界面处的等离子体鞘层中加速的高能离子，高反应性物质通向表面以及对热不稳定物体友好的环境的独特组合。另外，可以产生小的带负电荷的簇，因为它们被限制在正等离子电势中。碳氢化合物气体中的等离子体，尤其是乙炔中的等离子体，是讨论不同等离子体化学过程的一个很好的例子。这些等离子体涉及从燃料转化到单壁碳纳米管形成的多种可能的应用。本文简要概述了低压反应等离子体中的等离子体化学反应（PCR），并讨论了研究其等离子体化学的可能的实验和理论方法。给出了有关低压乙炔等离子体的最新知识摘要，并详细讨论了两个示例：（a）Ar / C2H2膨胀电子温度低于0.3 eV且通过电荷转移引发等离子体化学的热等离子体反应和（b）射频C2H2等离子体，其中高能电子主要控制PCR。

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