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首页> 外文期刊>電子情報通信学会技術研究報告. 電子部品·材料. Component Parts and Materials >次世代LSIプロセス·材料開発に活きる超精密製造·計測技術開発－光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓
【24h】

次世代LSIプロセス·材料開発に活きる超精密製造·計測技術開発－光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓

机译：可用于下一代LSI工艺和材料开发的超精密制造和测量技术的开发-通过光学技术和精密机械技术之间的合作开发下一代原子级生产技术

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熊本大学を中心に熊本地域で開発した非共振型超音波モーター技術は、削りかすパーティクルの出ない超精密長寿命性能の超音波モーターを実現させ、半導体等の精密製造·計測技術に新たな革命をもたらした。その量産技術への代表的な応用例として、触覚センサープロセス、グラフェン新材料開発、原子レベル酸化超薄膜欠陥検査について紹介し、次世代LSIプロセス·材料開発における日本の科学技術の方向性を示したい。
机译：在以熊本大学为中心的熊本地区开发的非共振超声波马达技术实现了不会产生剃须颗粒的超精密长寿命性能超声波马达，是半导体等精密制造和测量技术的新革命。带来了。作为量产技术的典型应用示例，我想介绍一下触觉传感器工艺，新的石墨烯材料的开发以及原子级氧化超薄膜缺陷检查，并在下一代LSI工艺和材料的开发中展示日本科学技术的方向。 ..

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