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【24h】

30倍の感度で測定できる「真空アルファ線トラッキング法」でLSIの信頼性向上―ソフトエラー発生原因のアルファ線放出を抑える材料の選択が可能―

机译:可以以30倍的灵敏度进行测量的“真空α射线跟踪方法”提高了LSI的可靠性-选择可抑制导致软错误的α射线发射的材料-

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摘要

富士通研究所はLSIの一時的誤作動であるソフトエラーを引き起こすアルファ線を従来の30倍高感度に測定する新手法を開発した。 真空アルファ線トラッキング法と呼び、真空中で試料からのアルファ線がプラスチック板を貫通した跡が、エッチングするとエッチピットとして計測できる仕組み。 ソフトエラー発生率を従来より1桁正確に予測でき、アルファ線放出がより少ない材料の選択が可能となる。
机译:富士通实验室开发了一种新的方法来测量导致软错误的α射线,这是LSI的暂时故障,其灵敏度比以前高30倍。这被称为真空阿尔法射线追踪法,并且在蚀刻时可以将来自样品的真空中穿透塑料板的阿尔法射线的痕迹测量为蚀刻坑。可以以比以前更精确的数量级预测软错误发生率,从而可以选择具有更少alpha发射的材料。

著录项

  • 来源
    《工業材料》 |2005年第6期|共1页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 工程材料学;
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