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製品検査におけるパターン情報の利用とその応用システム

机译：模式信息在产品检验中的应用及其应用系统

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摘要

今日，さまざまな製品の検査シスアムにおいて，画像上に写しこまれたパターン情報の利用が進んでいる．とりわけ，半導体，各種ディスプレイ材料関連製品の検査においては，ビデオカメラで捉えられた映像からパターン認識を用いて製品の位置座標を決定する技術が，重要となっている．この技術は，二次元面内の製品寸法計測のみならず，三次元表面高さ形状計測，塗布膜の厚さ計測，発光スペクトル計測，などを行うセンサーヘッドを決められた位置に精密に移動させるための不可欠な要素技術となっている．1930年代に投影機が開発され，生産現場における機械部品の寸法検査において，パターン情報の利用が始まった．この初期段階の寸法検査は，チャート図と称するトレース紙に書かれた機械部品の図面を投影スクリーンに貼り付け，実際の投影像と比較するという形で行われた．その後，この寸法検査を自動化するという試みがさまざまな形で行われ，1990年代にはいって，後述するCNC画像測定システムが開発され，大量少品種の製品の検査に広く使用されるに至った．さらに，将来に向けては，人間のもつ全体像把握機能を機械で実現する方向に沿った新システムが登場している．ここでは，画像上のパターンを用いた精密位置決め技術および寸法計測技術を応用したシステムの事例を紹介する．
机译：如今，印在图像上的图案信息的使用正在各种产品的检查系统中得到发展。特别地，在半导体和各种与显示材料有关的产品的检查中，用于利用从摄像机拍摄的图像中的图案识别来确定产品的位置坐标的技术是重要的。这项技术可以精确地将传感器头移动到固定位置，该传感器头不仅可以在二维平面上测量产品尺寸，而且可以将三维表面高度形状，涂膜厚度和发射光谱测量到。为此，这是必不可少的基本技术。投影仪于1930年代开发，图案信息开始用于生产现场的机械零件尺寸检查。初始尺寸检查是通过在投影屏幕上粘贴机械图并粘贴在描图纸上的机械图（称为图表）并将其与实际投影图像进行比较来进行的。此后，尝试以各种形式使这种尺寸检查自动化，并且在1990年代，后述的CNC图像测量系统得到了开发，并广泛用于大规模，低混合量产品的检查。此外，在未来，朝着实现用机器掌握人类全貌的功能的方向出现了新系统。在此，我们介绍一个系统示例，该系统使用图像上的图案应用精确定位技术和尺寸测量技术。

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