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世界最高分解能の走査型電子顕微鏡を発売薄膜材料や生体の超微細構造観察向け

机译:推出世界上最高分辨率的扫描电子显微镜,用于观察薄膜材料和生物的超细结构

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摘要

日立ハイテクノロジーズは、対物レンズの強励磁化により30kVで0.4nmという世界最高の分解能をもつ走査型電子顕微鏡(SEM)「S-5500」(Fig)を開発、発売した。エレクトロニクス分野の機能性材料や薄膜材料、バイオテクノロジーでの超微細構造を観察したいというニーズの高まりから高性能のSEMが望まれるようになったのに対応した。
机译:日立高科技已开发并发布了扫描电子显微镜(SEM)“ S-5500”(图),由于物镜的强大激发磁化,该显微镜在30 kV时具有0.4nm的世界最高分辨率。为了响应在电子领域中观察功能材料,薄膜材料和生物技术中的超细结构的日益增长的需求,高性能SEM已经成为人们所期望的。

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