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【24h】

超高精度位置決めを実現する転がり直動案内機器と位置決めテーブル

机译：实现超高精度定位的滚动直线运动导向装置及定位台

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摘要

近年，マイクロエレクトロニクス分野などにおいて，最終製品の小型化や高機能化を目的として，精密·微細加工が必要とされており，工作機械，各種製造装置，検査装置や精密測定器をはじめとするさまざまな機械·装置には，今まで以上に高精度な加工や測定が要求されている。装置の高精度化要求に伴い，位置決め機構に使用される位置決めテーブル，さらにはその案内部に組み込まれる直動案内機器においても，高精度な位置決めや極めて高い走行精度が求められるようになっている。本稿では，高精度な機械·装置の案内部に使用される転がり直動案内機器と位置決めテーブルを紹介する。
机译：近年来，在微电子领域，为了最终产品的小型化和高功能性以及诸如机床，各种制造设备，检查设备和精密测量仪器的各种类型的目的，需要精密和精细的处理。要求机器和设备具有比以往更高的精度处理和测量。由于需要更高的装置精度，因此用于定位机构的定位台以及结合在导向单元中的直线运动导向装置需要高精度的定位和极高的运行精度。 ..介绍了滚动直线运动导向装置和用于高精度机械设备导向部分的定位台。

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