クリーンルーム設備：空調，ユーティリティ設備－超純水供給設備

著录项

• 来源
  《冷凍》 |2006年第9期|共7页
• 作者

  杉山勇; Isamu SUGIYAMA;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 jpn
• 中图分类 空气调节、采暖、通风及其设备;
• 关键词

  オゾン; 水素; 汚染; UPW; ITRS; EDI; Ozone; Hydrogen; H{sub}2O{sub}2; Contamination;

  机译：臭氧;氢气;污染;UPW;ITRS;EDI;臭氧;氢气;H {sub} 2O {sub} 2;污染;