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首页> 外文期刊>砥粒加工学会誌 >マルチワイヤソーを用いた円柱工作物の最適スラリー供給方法に関する研究
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マルチワイヤソーを用いた円柱工作物の最適スラリー供給方法に関する研究

机译：多线锯对圆柱状工件的最佳浆料供应方法研究

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ICやLSIなどの半導体デバイス基板に用いられるシリコンウエハの製造において，スライシング加工は，後の工程における精度を左右する重要な工程である．現在，8インチ以上の大口径インゴットのスライシング加工には生産性や加工精度に優れる工作物降下型マルチワイヤソーが用いられている．しかし，本方式は加工部に直接スラリーを供給することが難しく，スラリー供給状態や最適な供給条件に関しては十分な解明がなされていない．そこで，本研究では工作物降下型マルチワイヤソーを用いた円柱工作物のスライシング加工における最適なスラリー供給方法について検討を行った．具体的には，円柱形状のパイレックスガラスを工作物に用い，スラリー供給方法を変化させた場合の加工部周辺におけるスラリー挙動及び加工溝内部において発生する諸現象の観察を行った．本報告では，観察によって明らかとなった加工溝内部に発生する現象と，その防止策について検討を行った結果を述べる．
机译：在用于诸如IC和LSI之类的半导体器件衬底的硅晶片的制造中，切片是影响后续过程的准确性的重要过程。当前，具有优异的生产率和机加工精度的工件下降型多线锯被用于切片8英寸或更大的大直径锭。然而，在该方法中，难以将浆料直接供给至加工部，并且浆料的供给状态和最佳供给条件尚未充分阐明。因此，在这项研究中，我们研究了使用工件下降型多线锯切割圆柱状工件的最佳浆料供应方法。具体地，我们观察到当使用圆柱形派热克斯玻璃作为工件时，当改变浆料供应方法时，围绕加工部件的浆料的行为以及在加工槽内发生的各种现象。在本报告中，我们描述了通过观察发现的加工槽内出现的现象以及检查预防措施的结果。

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