パルスプラズマジェットによる真空中の除電

松尾武; 佐藤直幸; 池畑隆

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パルスプラズマジェットによる真空中の除電

机译：脉冲等离子体喷射在真空中消除静电

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ガスジェット発生源はJordan TOF products社（USA）のPulsed Supersonic Valve（PSV）を用いた．PSVはガスをパルス的に射出する装置であり，質量分析のガス試料導入装置等に利用されているヘアピン型のパルスバルブである．実験では，あらかじめ高率圧を印加したメッシュ電極にガスジェットを照射，電極付近の気圧を上げ，火花放電電圧が電極電圧に一致した瞬間に放電が発生し，ガスがプラズマ化される．PSVはガスをパルス的かつ局所的に射出することが可能であるため，時間平均として高真空を維持したままプラズマによる除電が行える．

机译：气体喷射源是约旦TOF产品公司（美国）的脉冲超音阀（PSV）。 PSV是一种以脉冲方式注入气体的装置，并且是一种用于气体样品引入装置中以进行质量分析的发夹式脉冲阀。在实验中，向预先施加了高倍率压力的网状电极照射气体射流，使电极附近的压力升高，并在火花放电电压与电极电压匹配时产生放电，气体变成等离子体。由于PSV可以以脉冲和局部方式喷射气体，因此可以在保持高真空度（时间平均）的同时执行等离子体的静电消除。

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来源
《静電気学会講演論文集》 |2016年第null期|共2页
作者
松尾武; 佐藤直幸; 池畑隆;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类电磁学、电动力学;
关键词

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