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首页> 外文期刊>静電気学会講演論文集 >金属からの静電気放電に及ぼす湿度の影響
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金属からの静電気放電に及ぼす湿度の影響

机译：湿度对金属静电放电的影响

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静電気放電(ESD)による，電子機器の誤動作や半導体デバイスの破壊が数多く発生している．ESDの特徴を決める一つの要因として，放電電流がある．我々は，帯電した導体からの放電を模擬し，コンデンサに充電した電荷を，半球電極を一定の速さで接近させることにより放電させ，放電開始ギャップ長と放電電流波形の関係を調べてきた．これまでは，主に乾燥雰囲気中で検討を行ってきた．本報告では，放電電流波形と印加電圧の関係が，放電雰囲気中の湿度を変化させたときにどのように変化するかを調べた結果を報告する．
机译：由于静电放电（ESD），发生了许多电子设备故障和半导体设备损坏。放电电流是决定ESD特性的因素之一。我们通过模拟来自带电导体的放电并通过使半球形电极以恒定速度靠近来放电，从而研究了放电开始间隙长度与放电电流波形之间的关系。到目前为止，我们主要是在干燥的气氛中进行研究。在本报告中，我们报告了调查结果，研究了当放电气氛中的湿度发生变化时，放电电流波形与施加电压之间的关系如何变化。

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