高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）法＜HiPIMS成膜振術の特徴とその適用＞

渡部 友太郎; 寺西 義一; 長坂 浩志

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高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）法＜HiPIMS成膜振術の特徴とその適用＞

机译：大功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）方法

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精密金型は、表面の摩耗を防ぎ、金型寿命を延ばすために金型表面に硬質皮膜を成膜する場合が多い。金型表面の皮膜に要求される特性としては、密着性が良く、機械的特性に優れ（皮膜が緻密で硬質）、平滑であること、そして、付き回り性が良いことなどが挙げられる。近年、精密金型成型品の製品精度に対する要求が高くなるにつれ、従来の成膜法と比較して、より平滑で、より付き回り性が良いことに加えて、金型そのものの寸法が成膜中に狂いにくい低温成膜法が求められている。

机译：精密模具通常会在模具表面形成一层硬膜，以防止表面磨损并延长模具寿命。模具表面上的薄膜所需的特性包括良好的附着力，优异的机械性能（薄膜致密且坚硬），光滑度和良好的可旋转性。近年来，随着对精密模具成型产品的产品精度的需求增加，除了比常规成膜方法更平滑和更容易旋转之外，还形成了模具本身的尺寸。需要一种不易出错的低温成膜方法。

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来源
《プラスチックス》 |2014年第12期|共5页
作者
渡部友太郎; 寺西義一; 長坂浩志;
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类合成树脂与塑料工业;
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