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【24h】

Rugate filter made with composite thin films by ion-beam sputtering

机译：用离子束溅射复合薄膜制成的Rugate滤光片

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Composite films of Ta-Si oxide with refractive indices that varied from 1.48 to 2.15 were realized by using rf ion-beam sputtering. All the composite films were amorphous and had a surface roughness of less than 0.3 nm. The inhomogeneity of the composite was discussed, and a rugate filter was designed and fabricated by automatic computer control.
机译：通过使用射频离子束溅射实现了折射率在1.48到2.15之间变化的Ta-Si氧化物复合膜。所有复合膜都是非晶态的，并且表面粗糙度小于0.3nm。讨论了复合材料的不均匀性，并通过自动计算机控制设计和制造了皱褶过滤器。

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