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Probing multilayer stack reflectors by low coherence interferometry in extreme ultraviolet

机译：在低紫外线下通过低相干干涉法探测多层堆叠反射器

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We use low coherence interferometry to investigate the depth structure of a complex multilayer stack reflector. The probing instrument is an interferometer based on a Fresnel's bi-mirror illuminated by relatively wide-band synchrotron undulator light near 13.5 nm. Simulations clearly confirm that our test object generates two back propagated signals that behave as if reflected on two effective planes. First results in this spectral range may open the way to a new physical approach to extreme ultraviolet sample characterization in the form of line-scan optical coherence tomography. (C) 2008 Optical Society of America.
机译：我们使用低相干干涉技术来研究复杂的多层堆叠反射器的深度结构。该探测仪器是一种基于菲涅耳双镜的干涉仪，该菲涅耳双镜由接近13.5 nm的相对较宽的同步加速器波动光照射。仿真清楚地表明，我们的测试对象会生成两个反向传播的信号，它们的行为就像在两个有效平面上反射一样。在此光谱范围内的首次结果可能会为以线扫描光学相干断层扫描的形式对极端紫外线样品进行表征的新物理方法开辟道路。 （C）2008年美国眼镜学会。

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