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【24h】

Overall characterization of assembled optical storage devices with a heterodyne microscope: a qualitative comparison with a confocal microscope

机译：外差显微镜对组装好的光学存储设备的总体表征：与共聚焦显微镜的定性比较

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We present local profile measurements of inner mirrorlike and external front-end polycarbonate surfaces at the same spot of assembled optical storage devices, a CD and a DVD, performed with a heterodyne scanning interferometer that uses Gaussian beams. We show that the heterodyne interferometer can reproduce the profiles of both surfaces with accurate precision. We describe a procedure for calibrating the instrument based on the measurement of reflecting calibrated gratings. To show the advantages that the heterodyne interferometer represents as a valuable tool for the characterization of optical disks, we include a comparison of experimental results obtained with a confocal microscope under similar working conditions.
机译：我们介绍了在组装的光学存储设备，CD和DVD的同一点上的内部镜面样和外部前端聚碳酸酯表面的局部轮廓测量，这些测量是使用外差扫描干涉仪使用高斯光束进行的。我们表明，外差干涉仪可以精确地再现两个表面的轮廓。我们描述了一种基于反射校准光栅的测量值来校准仪器的程序。为了显示外差干涉仪作为表征光盘特性的宝贵工具的优势，我们对在相同工作条件下用共聚焦显微镜获得的实验结果进行了比较。

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