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Optimization of scanning strategy of digital Shack-Hartmann wavefront sensing

机译：Shack-Hartmann数字波前传感扫描策略的优化

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In the traditional Shack-Hartmann wavefront sensing (SHWS) system, a lenslet array with a bigger configuration is desired to achieve a higher lateral resolution. However, practical implementation limits the configuration and this parameter is contradicted with the measurement range. We have proposed a digital scanning technique by making use of the high flexibility of a spatial light modulator to sample the reflected wavefront [X. Li, L. P. Zhao, Z. P. Fang, and C. S. Tan, "Improve lateral resolution in wavefront sensing with digital scanning technique," in Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (2006)]. The lenslet array pattern is programmed to laterally scan the whole aperture. In this paper, the methodology to optimize the scanning step for the purpose of form measurement is proposed. The correctness and effectiveness are demonstrated in numerical simulation and experimental investigation.
机译：在传统的Shack-Hartmann波前感测（SHWS）系统中，需要具有更大配置的小透镜阵列以实现更高的横向分辨率。但是，实际实施限制了配置，并且该参数与测量范围矛盾。我们已经提出了一种利用空间光调制器的高灵活性来采样反射波阵面的数字扫描技术[X。 Li，L。P. Zhao，Z。P. Fang和C. S. Tan，“使用数字扫描技术提高波前感测的横向分辨率”，在亚太传感器与微纳技术会议（2006年）中]。小透镜阵列图案被编程为横向扫描整个光圈。本文提出了一种用于形状测量的优化扫描步骤的方法。数值模拟和实验研究证明了该方法的正确性和有效性。

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