Practical method study on correcting yaw error of 500 mm grating blank carriage in real time

Yang Chao; Li Xiaotian; Yu Haili; Yu Hongzhu; Zhu Jiwei; Zhang Shanwen; Gao Jianxiang; Bayanheshig; Tang Yuguo

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Practical method study on correcting yaw error of 500 mm grating blank carriage in real time

机译：实时校正500 mm光栅毛坯滑架偏航误差的实用方法研究

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We provided a method to correct the yaw error of a 500 mm grating blank carriage in real time, as the yaw error will bring down the quality of wavefront. We designed a structure with double piezoelectric devices to correct the yaw error. At the same time, to evaluate the correcting ability of our structure, we proposed a relative optical testing structure to verify the correcting accuracy by experiments. The experiment result showed that our method can accomplish the correction of yaw error in real time effectively, at the same time guaranteeing the grating quality. (C) 2015 Optical Society of America.

机译：我们提供了一种实时校正500 mm光栅毛坯滑架偏航误差的方法，因为偏航误差会降低波前的质量。我们设计了带有双压电装置的结构来纠正偏航误差。同时，为了评估我们结构的校正能力，我们提出了一种相对的光学测试结构，以通过实验验证校正精度。实验结果表明，该方法可以有效地实时校正偏航误差，同时保证了光栅的质量。（C）2015年美国眼镜学会。

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来源
《Applied optics》 |2015年第13期|共5页
作者
Yang Chao; Li Xiaotian; Yu Haili; Yu Hongzhu; Zhu Jiwei; Zhang Shanwen; Gao Jianxiang; Bayanheshig; Tang Yuguo;
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