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Vertically aligned carbon nanopillars with size and spacing control for a transparent field emission display

机译：具有尺寸和间距控制的垂直排列的碳纳米柱，用于透明场发射显示器

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A top-down fabrication method is presented for vertically aligned carbon nanopillars (CNPs) using photolithography and pyrolysis. The modified backside exposure method of photolithography fabricates vertically aligned polymer (SU-8) nanopillars. The pyrolysis process, which transforms the polymer to amorphous carbon, reliably produces vertically aligned CNPs with widths ranging from 100 to 400 nm. The CNPs can be used as a transparent field emission cathode for a transparent display and light emission is observed.
机译：提出了一种使用光刻和热解技术对垂直排列的碳纳米柱（CNP）进行自顶向下的制造方法。光刻的改良背面曝光方法可制造垂直排列的聚合物（SU-8）纳米柱。将聚合物转变为无定形碳的热解过程可靠地产生了垂直排列的CNP，其宽度范围为100至400 nm。 CNP可用作透明显示器的透明场发射阴极，并观察到发光。

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