机译:基于Ni-TaN纳米复合材料的薄吸收剂极紫外光掩模
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机译:TaTe2O7薄膜作为极紫外光刻二元掩模吸收材料的光学性能
机译:用极紫外显微镜观察极紫外光刻掩模上残留型薄吸收体缺陷
机译:基于Ni和TaN混合材料的薄吸收极EUV光掩模。
机译:有机材料中的二维图案:纳米盘,基于纳米盘的纳米复合材料和纳米薄的表面安装膜。
机译:石墨烯基超广角可调超材料吸收器
机译:评估金属碲化物的稳定性作为极端紫外线光刻的替代光掩模材料