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【24h】

TiO2 microring resonators with high Q and compact footprint fabricated by a bottom-up method

机译：TiO2微管谐振器具有高Q和紧凑型占地面积，由自下而上的方法制造

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摘要

Titanium dioxide (TiO2) microring resonators (MRRs) with high quality factors (Qs) are demonstrated by using a new, to the best of our knowledge, bottom-up fabrication method. Pattern platforms with a T-shaped cross section are first defined by etching a thin top layer of silicon nitride and a thick bottom layer of silica and partially undercutting the silica. Then, TiO2 is deposited on the platforms to form the TiO2 waveguides and devices. TiO2 MRRs with different bending radii, waveguide widths, and gaps in the bus waveguide are fabricated and measured. The intrinsic Q(Q(int)) is achieved to be similar to 1.1 x 10(5) at the telecommunication wavelengths, corresponding to a bend waveguide loss of 3.9 dB/cm while the compact MRR with a radius of 10 mu m can still sustain a Q(int) of similar to 10(5). These results not only unfold the feasibilities of the proposed bottom-up method for fabricating TiO2 waveguides and MRRs with high Qs and compact footprints but also suggest a new approach for fabricating waveguides in other materials, of which direct etching is not easily accessible. (C) 2020 Optical Society of America
机译：通过使用新的，以我们的知识，自下而上的制造方法使用新的因素（QS），对具有高质量因素（QS）的二氧化钛（TiO2）微管谐振器（MRRS）。具有T形横截面的图案平台首先通过蚀刻薄的氮化硅和厚的二氧化硅层并部分底切过二氧化硅而定义。然后，将TiO2沉积在平台上以形成TiO 2波导和装置。制造和测量具有不同弯曲半径，波导宽度和总线波导中的间隙的TiO2 MRRS。本征Q（Q（Q（Q（Q））在电信波长上类似于1.1×10（5），对应于3.9dB / cm的弯曲波导损耗，而具有10μm半径的紧凑型MRR仍然可以维持类似于10（5）的Q（int）。这些结果不仅展开了所提出的自下而上方法的制造TiO2波导和具有高QS的MRR的方法和紧凑的占地面积，而且还表明了一种用于在其他材料中制造波导的新方法，其中直接蚀刻不易进入。 （c）2020美国光学学会

著录项

  • 来源
    《Optics Letters》 |2020年第18期|共4页
  • 作者

    Li Gaoyuan; Fu Meicheng; Zheng Yi; Guan Xiaowei;

  • 作者单位

    Tech Univ Denmark Dept Photon Engn DTU Foton DK-2800 Lyngby Denmark;

    Tech Univ Denmark Dept Photon Engn DTU Foton DK-2800 Lyngby Denmark;

    Tech Univ Denmark Dept Photon Engn DTU Foton DK-2800 Lyngby Denmark;

    Tech Univ Denmark Dept Photon Engn DTU Foton DK-2800 Lyngby Denmark;

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  • 正文语种 eng
  • 中图分类 计量学;光学;
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