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【24h】

Chip-scale humidity sensor based on a silicon nanobeam cavity

机译：基于硅纳米孔腔的芯片凝固湿度传感器

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摘要

In this Letter, a novel humidity sensor based on a chip-scale silicon nanobeam cavity with polymethyl methacrylate (PMMA) cladding is demonstrated. This sensor is easy to fabricate and compatible with CMOS technology. It shows a humidity sensing with a linear wavelength dependence of 22.9 pm/% relative humidity (RH) in a wide range of RH from 10% to 85%, an ultra-fast response time of 540 ms, and high stability. After annealing, the sensor exhibits high reversibility, repeatability, and temperature insensitivity at the range of 25 degrees C-40 degrees C. To the best of our knowledge, this is the first application of integrated photonics in high performance humidity detection. It provides a new way for the chip-scale sensor to integrate with photonic devices and optical systems. (C) 2019 Optical Society of America
机译：在这封信中，证明了一种基于与聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）包层的芯片级硅纳米腔腔的新型湿度传感器。 该传感器易于制造和与CMOS技术兼容。 它显示湿度感测，其线性波长依赖性为22.9μm/％相对湿度（RH），在宽范围内，从10％至85％，超快速响应时间为540毫秒，稳定性高。 退火后，传感器在25摄氏度C-40摄氏度的范围内表现出高的可逆性，可重复性和温度不敏感性。据我们所知，这是高性能湿度检测中的集成光子学的第一次应用。 它为芯片级传感器提供了一种新的方法，以与光子器件和光学系统集成。 （c）2019年光学学会

著录项

  • 来源
    《Optics Letters》 |2019年第21期|共4页
  • 作者

    You Minmin; Lin Zude; Wang Fangfang; Bai Yiwei; Li Xiuyan; Su Yikai; Liu Jingquan;

  • 作者单位

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

    Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &

    Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;

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  • 正文语种 eng
  • 中图分类 计量学;光学;
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