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【24h】

3D thickness map reconstruction of dielectric thin films using scattering of surface plasmon polaritons

机译：3D厚度映射使用表面等离子体极性散射散射介质薄膜重建

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Thin films are key elements in the current development of nanotechnology, and their characterization has become an essential task. In this Letter, we report on a technique to reconstruct full 3D maps of dielectric thin films using the scattered light of decoupled surface plasmon polaritons. Patterned magnesium fluoride thin films were fabricated, and their 3D thickness map was fully reconstructed with high (1 nm) precision. This technique can be applied and easily adjusted to identify inhomogeneities in wide areas (mm(2) - cm(2)) of dielectric samples with subnanometer precision, or to characterize the fabrication processes involved in the preparation of patterned multilayered systems. (C) 2018 Optical Society of America
机译：薄膜是当前开发纳米技术开发中的关键元素，其特征已成为必不可少的任务。 在这封信中，我们报告了一种用分离的表面等离子体极性恒星的散射光重建介电薄膜的全3D地图的技术。 制造图案化氟化镁薄膜，并且它们的3D厚度图完全具有高（1nm）精度重建。 该技术可以施加和容易地调节，以鉴定具有亚晶仪精度的介电样品的宽区域（MM（2） - CM（2））的不均匀性，或者表征制备图案化多层系统的制备过程。 （c）2018年光学学会

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