...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Journal of Physics, D. Applied Physics: A Europhysics Journal >Pressure dependence of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer formation in a magnetron sputtering discharge
【24h】

Pressure dependence of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer formation in a magnetron sputtering discharge

机译：Ar-2（+），ARTI +和Ti-2（+）二聚体形成在磁控溅射放电中的压力依赖性

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Formation of Ar+ and Ti+ monomers and of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer ions in a magnetron sputtering discharge with a Ti cathode and at argon gas pressures of 0.3-2.1 Pa was investigated by means of energy-resolved mass spectrometry. An unbalanced 2 inch magnetron operated in direct current mode with a power of 150 W (typical operation voltage -365 V) was employed. Energy spectra of Ar+ and Ti+ ions show distinct features which are related to the specific formation processes taking place at the Ti cathode or resulting from gas phase reactions. Formation of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer ions show pronounced pressure dependencies which can be attributed to distinct formation and loss processes. Ti-2(+) ions originate from direct sputtering of Ti-2 dimers and the subsequent ionization in the plasma region above the cathode.
机译：通过用Ti阴极和0.3-2.1Pa的氩气，在磁控溅射放电中形成Ar +和Ti +单体和Ar-2（+），Arti +和Ti-2（+）二聚体离子，并通过0.3-2.1Pa的氩气。 能量分辨质谱。 采用了一种不平衡的2英寸磁控管，采用电流为150W（典型操作电压-365 V）的电流模式。 AR +和Ti +离子的能谱显示出与在Ti阴极处进行的特定形成过程或由气相反应产生的特异性特征有关。 AR-2（+），ARTI +和TI-2（+）二聚体离子的形成显示了明显的压力依赖性，其可归因于不同的形成和损耗过程。 Ti-2（+）离子源于Ti-2二聚体的直接溅射和在阴极上方的等离子体区域中随后的电离。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号