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ミストCVD法にまる酸化亜鉛系薄膜成膜技術

机译：基于氧化锌的薄膜形成技术，用于雾CVD法

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摘要

安全で低コストの酸化物薄膜の気相成膜技術として、ミストCVD法を紹介する。 この技術は、簡単な装置構成でありながら、有機金属気相成長法に比肩しうる高品質多結晶、単結晶酸化亜鉛薄膜の作製が実証され、さらにプラスチック基板上への低温成膜など、今後の応用に向けた特徴がある。
机译：作为安全和低成本氧化物薄膜的气相沉积技术，我们引入雾CVD方法。 该技术表明，制备高质量的多晶和单晶锌氧化物薄膜，其可以对有机金属气相沉积方法具有简单的装置配置，并且通过塑料基材上的低温膜形成进一步减少。在那里是应用程序的特征

著录项

  • 来源
    《工業材料》 |2008年第10期|共4页
  • 作者

    藤田静雄;

  • 作者单位

    京都大学工学研究科〒615－8520　 京都市西京区京都大学桂2;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 工程材料学;
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