特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法

著录项

• 来源
  《電子情報通信学会技術研究報告. パターン認識·メディア理解. Pattern Recognition and Media Understanding》 |2006年第229期|共8页
• 作者

  酒井薫; 前田俊二; Kaoru SAKAI; Shunji MAEDA;

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• 作者单位

  日立製作所生産技術研究所;

  日立製作所生産技術研究所;

  Hitachi LTD. Production Engineering Research Laboratory;

  Hitachi LTD. Production Engineering Research Laboratory;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 jpn
• 中图分类 图像通信、多媒体通信;
• 关键词

  比較検査; 欠陥認識; 回帰木; 特徴空間; 散布図; はずれ値; inspection; defect; regression tree; feature space; scattergram; statistical outlier;

  机译：比较检查;缺陷识别;返回树;特征空间;散点图;散射;检查;缺陷;回归树;特征空间;散点图;差异;散点图;散点图;