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【24h】

A novel nanochannel fabrication for nanofluidic applications using synchrotron radiation via a micro patterned X-ray mask

机译：一种新型纳米通道制造，用于纳米流体应用，通过微图案化X射线掩模使用同步辐射辐射

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摘要

Micro- and nanofluidic devices are being used increasingly in biological, chemical, and medical applications, and many fabrication methods have been proposed. While micro-sized structures are simply fabricated using standard ultraviolet (UV) lithography processes, there are still limitations in the fabrication of nano-sized structures. This study presents a novel X-ray mask fabrication method for fabricating extremely long nano-sized channels using synchrotron radiation (width and height: similar to 200 nm, length: similar to 2 cm). The X-ray mask used for manufacturing the nano-sized channels can simply be fabricated by depositing metal on microstructures tilted at a specific angle. The proposed method overcomes the limitations of traditional nanofabrication methods, which are complex, expensive, and time-consuming. Using the fabricated nanochannels, the generation of ion concentration polarization, a novel transport phenomenon in nanofluidics, was investigated. Our novel fabrication method should be a useful tool for various nanofluidic applications due to its various advantages, including simple fabrication process, controllability, and duplicability.
机译：微型和纳米流体装置越来越多地用于生物，化学和医学应用中，并且已经提出了许多制造方法。虽然使用标准紫外线（UV）光刻工艺简单地制造了微尺寸结构，但纳米结构的制造仍然存在限制。本研究提出了一种新颖的X射线掩模制造方法，用于使用同步辐射（宽度和高度：与200nm类似，长度：类似于2cm），制造极长的纳米大小通道的制造方法。用于制造纳米尺寸通道的X射线掩模可以通过在以特定角度倾斜的微结构上沉积金属来简单地制造。该方法克服了传统纳米制作方法的局限性，这是复杂的，昂贵和耗时的。研究了采用制造的纳米通道，研究了离子浓度极化的产生，纳米流体中的一种新型运输现象。由于其各种优点，我们的新型制造方法应该是各种纳米流体应用的有用工具，包括简单的制造工艺，可控性和重复性。

著录项

  • 来源
    《RSC Advances》 |2016年第52期|共5页
  • 作者

    Jeon Hyungkook; Kim Jong Hyun; Lim Geunbae;

  • 作者单位

    Pohang Univ Sci &

    Technol POSTECH Dept Mech Engn San 31 Pohang 790784 Gyeongbuk South Korea;

    Pohang Univ Sci &

    Technol POSTECH PAL San 31 Pohang 790784 Gyeongbuk South Korea;

    Pohang Univ Sci &

    Technol POSTECH Dept Mech Engn San 31 Pohang 790784 Gyeongbuk South Korea;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 化学;
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