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【24h】

A sub-200 nanometer wide 3D stacking thin-film temperature sensor

机译：副200纳米宽3D堆叠薄膜温度传感器

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摘要

We developed a series of thin-film thermocouples (TFTCs) made from Cr, Au, and Pd long stripes with a width of 90-300 nm and a 10 nm insulating HfO2 layer. The sensors have a three-dimensional sandwich structure, therefore reducing the total width down to 138 nm. Their sensitivity (thermopower) values were measured to be 9.6 + 0.7 mu V K-1 for the Cr/HfO2/Pd sensors and 3.6 +/- 0.1 mu V K(-)1 for the Au/HfO2/Pd sensors. These sensors showed reproducible and reliable measurement performance with a good temperature resolution of 0.04-0.1 K and a small heat capacity of 3.2-3.5 x 10(-14) J per K permicron length, making them promising candidates for applications in electronic devices, microfluidic systems, and single cell or sub-cell detection as built-in sensors.
机译：我们开发了一系列由Cr，Au和Pd长条纹制成的薄膜热电偶（TFTCS），宽度为90-300nm和10nm绝缘Hfo2层。 传感器具有三维夹心结构，因此将总宽度降低至138nm。 对于AU / HFO2 / PD传感器的Cr / HFO2 / Pd传感器，测量它们的敏感性（热电机）值为9.6 +0.7μVK-1和3.6 +/-0.1μmVk（ - ）1。 这些传感器显示出可重复且可靠的测量性能，良好的温度分辨率为0.04-0.1 k和小的热容量为3.2-3.5×10（-14）J的Permiccron长度，为电子设备，微流体中的应用提供了有希望的候选者。 系统和单个小区或子单元格检测为内置传感器。

著录项

  • 来源
    《RSC Advances》 |2016年第46期|共7页
  • 作者

    Huo Xiaoye; Wang Zhenhai; Fu Mengqi; Xia Jiye; Xu Shengyong;

  • 作者单位

    Peking Univ Dept Elect Key Lab Phys &

    Chem Nanodevices Beijing 100871 Peoples R China;

    Peking Univ Dept Elect Key Lab Phys &

    Chem Nanodevices Beijing 100871 Peoples R China;

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    Chem Nanodevices Beijing 100871 Peoples R China;

    Peking Univ Dept Elect Key Lab Phys &

    Chem Nanodevices Beijing 100871 Peoples R China;

    Peking Univ Dept Elect Key Lab Phys &

    Chem Nanodevices Beijing 100871 Peoples R China;

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  • 正文语种 eng
  • 中图分类 化学;
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